[发明专利]研磨装置及研磨方法

权利要求书

1.一种研磨装置，其利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨装置的特征在于，

在由所述输送机构形成的输送路径的中途对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨传送来的所述板状工件的两面。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述输送路径形成为使所述输送机构沿水平方向输送所述板状工件，并且在该输送路径中途的一对所述夹持辊的下方配设一对所述抛光辊。

3.根据权利要求1或2所述的研磨装置，其特征在于，

所述板状工件在由一对所述夹持辊夹持的状态下向下方传送后向上方传送，由此利用一对所述抛光辊同时研磨两面。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

在所述输送路径中途的上游侧和下游侧的至少两个部位分别配设一对所述夹持辊和一对所述抛光辊。

5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，

通过配设在所述输送路径中途的上游侧的一对夹持辊和一对抛光辊，对所述板状工件的包括输送方向一端的局部区域进行研磨，通过配设在下游侧的一对夹持辊和一对抛光辊，对处于输送方向反向状态的所述板状工件的包括未研磨部的区域进行研磨。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述板状工件在进行由所述输送机构的沿水平方向的输送与相对于一对所述抛光辊的传送的方向变换时，在一对所述夹持辊的周边喷射流体。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述板状工件是柔性印制电路板。

8.一种研磨方法，其利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨方法的特征在于，

在由所述输送机构形成的输送路径的中途对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨传送来的所述板状工件的两面。