[发明专利]蒸镀装置及薄膜装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，该蒸镀装置具备：接地的真空容器、被支承在该真空容器内的基板支架、能够保持在该基板支架上的基板、离开该基板规定距离并与该基板相向的蒸镀单元、用于对所述基板照射离子的离子枪、以及用于对所述基板照射电子的中和器，该蒸镀装置的特征在于：

所述中和器按照使电子照射口朝向所述基板的方向的方式进行配设，并且，所述离子枪按照离子照射口与所述基板相向的状态配设在所述真空容器内部的与配设所述基板支架的一侧相反方向的一侧；

在从所述离子枪的所述离子照射口朝向所述基板支架的位置，按照使从所述离子照射口中照射出的所述离子的扩散范围缩小的方式配设有用于限制离子的照射范围的照射离子导向部件；

所述照射离子导向部件相对于所述真空容器电气悬浮。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

在从所述中和器的所述电子照射口朝向所述基板支架的位置，按照使从所述电子照射口中照射出的所述电子的扩散范围缩小的方式配设有用于限制电子的照射范围的照射电子导向部件；

所述照射电子导向部件相对于所述真空容器电气悬浮。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

在从所述中和器的所述电子照射口朝向所述基板支架的位置，按照使从所述电子照射口中照射出的所述电子的扩散范围缩小的方式配设有用于限制电子的照射范围的照射电子导向部件，并且，所述照射电子导向部件相对于所述真空容器电气悬浮；

所述照射离子导向部件和所述照射电子导向部件中的至少一方形成为筒状，且按照从所述离子枪中照射出的离子或从所述中和器中照射出的电子能插通筒状部分的内侧的方式配设。

4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述照射离子导向部件形成为板状，且被配设在能遮蔽从所述离子枪中照射出的离子的一部分的位置。

5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，在从所述中和器的所述电子照射口朝向所述基板支架的位置，按照使从所述电子照射口中照射出的所述电子的扩散范围缩小的方式配设有用于限制电子的照射范围的照射电子导向部件，并且，所述照射电子导向部件相对于所述真空容器电气悬浮；

所述照射离子导向部件和所述照射电子导向部件中的至少一方具有由内侧部件和外侧部件构成的二重结构；

所述内侧部件和所述外侧部件按照具有间隙的方式并行设置，且相对于彼此电气悬浮。

6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述真空容器具备相对于所述真空容器电气悬浮的内壁。

7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述中和器被配设在离开所述离子枪的位置。

8.一种薄膜装置的制造方法，该制造方法的特征在于：

在该方法中使用蒸镀装置，所述蒸镀装置具备：

接地的真空容器，

被支承在该真空容器内的基板支架，

能够保持在该基板支架上的基板，

离开该基板规定距离并与该基板相向的蒸镀单元，

用于对所述基板照射离子的离子枪，该离子枪按照离子照射口与所述基板相向的状态配设在所述真空容器内部的与配设所述基板支架的一侧相反方向的一侧，

用于对所述基板照射电子的中和器，该中和器配设于所述真空容器的侧面侧，

遮板，该遮板以分别紧靠所述蒸镀单元的蒸镀物质照射口和所述离子枪的离子照射口的方式配设，

照射离子导向部件，该照射离子导向部件按照使从所述离子照射口中照射出的所述离子的扩散范围缩小的方式配设在从所述离子枪的所述离子照射口朝向所述基板支架的位置，以及

照射电子导向部件，该照射电子导向部件按照使从所述电子照射口中照射出的所述电子的扩散范围缩小的方式配设在从所述中和器的所述电子照射口朝向所述基板支架的位置；

在所述制造方法中进行如下工序：

将所述基板配设于所述基板支架的配设工序，

使所述基板支架以规定转数旋转、将所述真空容器内的压力设定为规定值、将所述基板温度加热到规定值的设定工序，

使所述离子枪和所述蒸镀单元处于空转状态的准备工序，以及

通过开放所述遮板使所述蒸镀物质照射到所述基板的蒸镀工序；

其中，在所述蒸镀工序中，由所述离子枪朝向所述基板照射通过了所述照射离子导向部件的离子，同时，由所述中和器朝向所述基板照射通过了所述照射电子导向部件的电子，所述中和器靠近所述基板支架进行配设并离开所述离子枪规定距离进行配设。