[发明专利]有机电致发光面板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用了双面粘合带的有机电致发光面板的制造方法。本发明的有机电致发光面板作为显示装置、显示器、各种发光光源是非常有用的。

背景技术

有机电致发光(以下有时称作“有机EL”)元件是，具有将含有发光化合物的发光层用阴极和阳极夹着的结构、通过向发光层注入电子和空穴使其再结合来生成激子(exciton)，并利用该激子失活时放出的光(荧光、磷光)进行发光的元件，可以在几伏～几十伏左右的电压下发光，进而，由于是自发光型，因此视场角宽、可视性高，由于是薄膜型的全固体元件，因而省空间性、便携性优异等，从这些观点考虑而受到关注。另外，在基板上形成有上述有机EL元件的有机EL面板可以作为显示装置、显示器、各种发光光源使用。

现在，在有机EL面板中，尤其是可弯折的柔性显示器受到关注。为了制成柔性显示器，作为形成有机EL元件的基板需要使用具有柔性的基板。进而，有机EL元件所使用的发光层(有机发光体)、电子、空穴传输材料等的有机固体通常对水分、氧气极不稳定，有机EL元件内存在的水分、氧气当然不用说了，甚至从元件外部侵入的水分、氧气也会造成劣化，引起所谓的暗斑(dark spots)的生长、透光度的降低、以及发光效率的显著降低，因此，需要使基板具有高的阻气性。从这一点已知，若使用极薄玻璃基板作为基板，则可兼顾柔性和阻气性(引用文献1)。

然而，由于上述极薄玻璃基板非常脆，因此在该极薄玻璃基板上形成有机EL元件的制造工序中搬送单独的极薄玻璃基板时，存在搬送中极薄玻璃基板中发生“裂纹(fractures)”、“破碎(cuts)”而造成产率降低的问题。因此，作为防止搬送中的“裂纹”、“破碎”的方法，已知有通过夹具将极薄玻璃基板临时固定进行搬送的配合夹具的方式，通过粘合片临时固定进行搬送的片贴附方式、借助蜡、粘接剂贴合到支持基盘后进行搬送的底座方式等。然而，在配合夹具的方式中，由于需要考虑WET处理(化学试液处理)时的试液残留、处理不匀等来使用适用于各处理工艺的夹具，因此存在维护性、操作性差的问题。此外，在片贴附方式中，制造工序后剥离除去不需要的粘合片时，有时由于应力导致极薄玻璃基板破损。进而，在借助蜡、粘接剂贴合到支持基盘后进行搬送的底座方式中，在制造工序后，需要设置使用有机溶剂除去附着在极薄玻璃基板背面的蜡、粘接剂的工序，难以提高生产率。

日本特开2003-292916号公报(专利文献2)中记载了一种热剥离性粘合片，所述粘合片将脆弱的被粘物临时固定，通过实施加热处理可以不损伤脆弱的被粘物地容易地剥离回收，所述粘合片在基材的至少一侧具有含有热膨胀性微球的热膨胀性粘合剂层。该热膨胀性微球在球状的橡胶状弹性体中含有烃类气体，具有通过以一定温度以上的温度加热使烃类气体膨胀从而使得橡胶状弹性体膨胀和/或发泡的性质。然而，若以膨胀和/或发泡的温度以下的温度加热，则不发生热膨胀，但在该温度附近时，烃类气体会作为排气(offgas)排出到外部，在将该热剥离性粘合片作为极薄玻璃基板的临时固定用片材使用时，在有机EL面板的制造工序中，在极薄玻璃基板上通过真空蒸镀法(vacuum deposition method)形成有机电致发光元件时，真空腔内产生大量烃类气体，使得真空度降低、达到规定真空度的时间出现延迟，从而存在膜精度以及生产率显著降低的问题。即，现状是，还没有发现下述的有机EL面板的制造方法：在使用了极薄玻璃基板的、柔性以及阻气性优异的有机EL面板的制造方法中，能够避免由于制造工序中的搬送等造成的极薄玻璃基板“裂纹”或“破碎”，通过真空蒸镀形成有机EL元件时能够迅速地达到规定的真空度，从而能够有效地形成有机EL元件，并且在制造工序后，能够不损坏极薄玻璃基板地回收所得到的有机EL面板，不必设置用于除去附着于极薄玻璃基板背面的粘接物质等的洗涤工序。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-79432号公报

专利文献2：日本特开2003-292916号公报

发明内容

发明要解决的问题

因此，本发明的目的在于，提供一种有机EL面板的制造方法，在使用了极薄玻璃基板的、柔性以及阻气性优异的有机EL面板的制造方法中，能够避免由于制造工序中的搬送等造成的极薄玻璃基板“裂纹”或“破碎”，通过真空蒸镀形成有机EL元件时能够迅速地达到规定的真空度，从而能够有效地形成有机EL元件，并且在制造工序后，能够不损坏极薄玻璃基板地回收所得到的有机EL面板，不必设置用于除去附着于极薄玻璃基板背面的粘接物质等的洗涤工序。