[发明专利]搬运机器人的示教方法有效
申请号: | 200980130641.6 | 申请日: | 2009-07-29 |
公开(公告)号: | CN102112274A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 藤井佳词 | 申请(专利权)人: | 爱发科股份有限公司 |
主分类号: | B25J9/22 | 分类号: | B25J9/22;G05B19/42;H01L21/677 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王轶;尹文会 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 搬运 机器人 方法 | ||
1.一种搬运机器人的示教方法,是对搬运机器人示教其搬运动作的方法,该搬运机器人以支承欲在多个处理室间进行处理的基板的状态而在同一平面内进行旋转及伸缩动作,从而将上述基板搬运到规定的位置,该搬运机器人的示教方法的特征在于,
使用至少一个检测单元,该检测单元被配置为当搬运机器人在上述处理室间搬运基板时对基板进行检测,
使上述搬运机器人进行搬运动作,由上述检测单元测出预先设置在上述搬运机器人的工作部的至少一个标识部,依据该检测位置,来示教成为上述旋转及伸缩动作中的至少一方的起点的基准位置。
2.根据权利要求1所述的搬运机器人的示教方法,其特征在于,
当上述检测单元为配置成相对上述平面呈垂直地投光的光学传感器时,以形成在工作部的至少一个贯通孔来构成上述标识部。
3.根据权利要求2所述的搬运机器人的示教方法,其特征在于,
在上述贯通孔的周围使搬运机器人进行扫描移动。
4.根据权利要求1~3所述的搬运机器人的示教方法,其特征在于,
在进行上述起点的示教之前,由上述检测单元检测至少2个标识部,根据规定的比较值,修正搬运机器人的组装有工作部时的伸缩方向或者旋转方向的偏差。
5.根据权利要求1~4所述的搬运机器人的示教方法,其特征在于,
由上述搬运机器人支承基板,替换在上述工作部形成标示部的情形而是在上述基板上形成标识部,或者除上述工作部之外还在上述基板上形成标识部。
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