[发明专利]搬运机器人的示教方法

说明书

技术领域

本发明涉及利用在现有处理装置中设置的基板位置检测用传感器的、低成本的搬运机器人的示教(teaching)方法。

背景技术

以往，作为对基板实施成膜处理、蚀刻处理等各种处理的装置，已知的处理装置(所谓的工具组装置)构成为：如图1所示，以包围配置有搬运机器人1的中央搬运室A的方式配置基板S的装载锁定室B与多个处理室C，利用搬运机器人1将投入到装载锁定室B的基板S搬运到各处理室C或者在各处理室C的相互之间搬运该基板S。

搬运机器人1具备机器人臂11和将该机器人臂11驱动为在同一平面上旋转且自如伸缩的驱动单元，在机器人臂11的前端经由齿轮箱G连结有以载置基板S的状态来支承基板S的机器人手12。上述机器人臂11及机器人手12构成搬运机器人的工作部。

上述搬运机器人1中，需要利用机器人手12将存在于规定位置的基板S恰当地保持并且搬运到目标位置(例如各处理室C的基板载台Cs)，再交接到恰当的位置。因此，在搬运室A与各处理室C1～C3的边界区域、且在该区域顶部或底部，设置有光学传感器等检测单元2(参照图1(b))。

这里，在由搬运机器人将基板S从规定位置搬运到目的位置的情况下，通过检测单元2确认基板S是否被高精度地支承在机器人手12中，并且进行机器人臂11移向下一目的位置的工作、将各处理室相互之间隔开的门阀的开闭等。另一方面，当判断出基板S的位置偏移时，调节机器人臂11的动作以抵消其位置偏移量(例如参照专利文献1)。

然而，上述搬运机器人中，全部的搬运动作预先由程序确定，由该程序进行示教，教给搬运机器人搬运动作的起点与顺序(搬运动作)。然后，再生所示教的搬运动作使搬运机器人工作。因此，在将搬运机器人设置在处理装置时、或为了对机器人臂或者机器人手进行维护而更换机器人臂或者机器人手时，在进行基板交接的位置等由人进行示教。

作为搬运机器人的示教方法，通常已知有直接把持机器人臂、机器人手来示教基板的交接位置等的方法(所谓直接示教)、或者通过示教盒对机器人进行操作而按顺序指定作为搬运动作的起点的位置的方法(所谓远程示教)。

然而，以往的示教中，由于操作者一边目视确认搬运机器人的动作一边进行示教操作，因此操作者之间容易在精度方面产生偏差，存在对搬运动作的示教欠缺可靠性的问题。

专利文献1：日本特开2007-27378号公报

发明内容

本发明基于上述问题而做出，提供一种具有高可靠性且能迅速进行示教的低成本的搬运机器人的示教方法。

为了解决上述课题，本发明的搬运机器人的示教方法，是对搬运机器人示教其搬运动作的方法，该搬运机器人以支承欲在多个处理室间进行处理的基板的状态在而同一平面内进行旋转及伸缩动作，从而将上述基板搬运到规定的位置，该搬运机器人的示教方法的特征在于：使用至少一个检测单元，该检测单元被配置为当搬运机器人在上述处理室间搬运基板时对基板进行检测，使上述搬运机器人进行搬运动作，由上述检测单元测出预先设置在上述搬运机器人的工作部的至少一个标识部，依据该检测位置，来示教成为上述旋转及伸缩动作中的至少一方的起点的基准位置。

根据本发明，在为了实施多种处理而在搬运室的周围设有多个处理室的处理装置中，当由搬运室内的搬运机器人搬运基板时，使搬运机器人的工作部横切为了检测基板位置而设置的检测单元来进行检测，由此利用该检测单元示教(teaching)搬运机器人的搬运动作。即，例如，根据搬运机器人的设计尺寸、工作部的动作区域，在工作部中的、可成为使搬运机器人进行伸缩或者旋转动作时的起点的位置、可被检测单元检测的位置预先设置标识部。然后，在示教搬运动作时，通过手动或者自动使搬运机器人的工作部旋转或者伸缩，由检测单元检测标识部。然后，依据该检测位置，示教成为上述旋转及伸缩动作的至少一方的起点的基准位置。

这样根据本发明，利用设置在处理装置的现有检测单元，来检测工作部并且示教搬运机器人的搬运动作，因此操作者之间很难在精度方面产生偏差，能简单并且迅速地进行搬运操作。而且，不会增加部件件数而实现低成本化。另外，由于使用检测单元进行搬运动作的示教，因而能在处理室为真空环境下实现示教。进而搬运机器人启动时在进行初始动作时，若判断是否由检测单元检测到标识部，则还能判断搬运机器人的正常性。

本发明中，在上述检测单元为配置成相对上述平面垂直投光的光学传感器的情况下，如果以形成在工作部的至少一个贯通孔构成上述指示部，则能够通过简单的构成来实现标识部。