[发明专利]负型感光性组合物、使用该组合物的光学元件用间隔壁及具有该间隔壁的光学元件有效
申请号: | 200980130901.X | 申请日: | 2009-07-31 |
公开(公告)号: | CN102112923A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 古川丰 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G02B5/20;G02F1/1335;G02F1/1343;G03F7/038;G03F7/40;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘多益;胡烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 组合 使用 光学 元件 间隔 具有 | ||
1.一种负型感光性组合物,该组合物含有:
下述拒油墨剂(A)、
在1分子内具有酸性基团和乙烯性双键的感光性树脂(B)、
光聚合引发剂(C),其特征在于,
组合物的全部固体成分中的拒油墨剂(A)的比例为0.01~10质量%;
拒油墨剂(A):
由至少3种水解性硅烷化合物的水解缩合产物组成,氟原子含有率为10~55质量%;所述至少3种水解性硅烷化合物分别选自以下水解性硅烷化合物:
硅原子上结合有1个具有碳数3~10的可含醚性氧原子的全氟烷基的有机基团和3个水解性基团的水解性硅烷化合物(a-1),
硅原子上结合有p个烃基和(4-p)个水解性基团的水解性硅烷化合物(a-2),其中p为0、1或2,以及
硅原子上结合有q个具有选自丙烯酰基和甲基丙烯酰基的聚合性官能团的有机基团、r个烃基和(4-q-r)个水解性基团的水解性硅烷化合物(a-3),其中q为1或2、r为0或1、q+r为1或2。
2.如权利要求1所述的负型感光性组合物,其特征在于,所述水解性硅烷化合物(a-1)所包含的有机基团是具有碳数4~8的全氟烷基或碳数4~9的含醚性氧原子的全氟烷基的有机基团。
3.如权利要求1或2所述的负型感光性组合物,其特征在于,所述拒油墨剂(A)的氟原子含有率为30~55质量%。
4.如权利要求1所述的负型感光性组合物,其特征在于,所述水解性硅烷化合物(a-1)是以下述式(a1)表示的化合物,所述水解性硅烷化合物(a-2)是以下述式(a2)表示的化合物,所述水解性硅烷化合物(a-3)是以下述式(a3)表示的化合物;
上式(a1)~(a3)中的记号如下所述:
RF表示具有碳数3~10的可含醚性氧原子的全氟烷基的有机基团,
RH表示烃基,
Q表示具有选自丙烯酰基和甲基丙烯酰基的聚合性官能团的有机基团,
X表示水解性基团,
p表示0、1或2,q表示1或2,r表示0或1,q+r表示1或2;
各化合物内存在多个RH、Q和X的情况下,这些RH、Q和X分别独立地表示所述基团,这些RH、Q和X可以彼此不同也可以相同。
5.如权利要求1~4中的任一项所述的负型感光性组合物,其特征在于,还包含具有2个以上的乙烯性双键且不具有酸性基团的自由基交联剂(D)。
6.一种间隔壁,该间隔壁是在支承基板上具有多个像素和位于相邻像素之间的间隔壁的光学元件用的间隔壁,其特征在于,由权利要求1~5中的任一项所述的负型感光性组合物的涂膜固化物构成。
7.一种间隔壁的制造方法,该方法是在支承基板上具有多个像素和位于相邻像素之间的间隔壁的光学元件用的间隔壁的制造方法,其特征在于,
依次包括:将权利要求1~5中的任一项所述的负型感光性组合物涂布于所述支承基板上而形成涂膜的工序;对所述涂膜加热的预烘烤工序;仅对所述涂膜的成为间隔壁的部分进行曝光而使其感光固化的曝光工序;除去所述感光固化了的部分以外的涂膜,形成由所述涂膜的感光固化部分构成的间隔壁的显影工序;对如上所述形成的间隔壁加热的后烘烤工序。
8.一种光学元件的制造方法,该方法是在支承基板上具有多个像素和位于相邻像素之间的间隔壁的光学元件的制造方法,其特征在于,
包括如下工序:通过权利要求7所述的制造方法在支承基板上形成间隔壁后,对由所述支承基板和所述间隔壁围成的区域内的暴露的支承基板表面实施亲油墨化处理,然后通过喷墨法在所述区域内注入油墨,形成所述像素。
9.如权利要求8所述的光学元件的制造方法,其特征在于,所述光学元件是有机EL显示元件、彩色滤光片或有机TFT阵列。
10.如权利要求8或9所述的光学元件的制造方法,其特征在于,所述亲油墨化处理是选自UV清洗处理、UV臭氧清洗处理、准分子激光清洗处理、电晕放电处理和氧等离子体处理的1种或2种以上。
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