[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法

权利要求书

1.一种缺陷检查系统，检测具有透明性的板状体所存在的缺陷，其特征在于，具备：

第一缺陷检查装置，具有：

第一光源，向所述板状体的面投射光；

第一摄像机，使通过所述板状体的透射光会聚而拍摄明场图像；及

刀刃状的光路屏蔽部件，设置在所述第一摄像机的透射光的光路中的位于所述第一摄像机前方的位置；及

处理装置，从通过所述第一摄像机拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域判别在所述板状体是否存在缺陷区域。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

所述第一光源为线状光源，

在所述第一摄像机的受光面的前表面设有用于使板状体的像成像的成像透镜，

以满足第一条件和第二条件的方式设定所述第一光源、所述成像透镜及所述第一摄像机，

所述第一条件为：将从所述第一光源经由所述成像透镜到达所述第一摄像机的受光面的所述第一光源的透射光光束的扩展角的一半角度作为照明发光有效角，将从所述第一摄像机的受光面的位置经由所述成像透镜到达所述第一光源的照射面的视场范围的预估角的一半角度作为视场角，并设表达所述第一光源的发光方向性的值为α时，所述视场角相对于所述照明发光有效角的比率乘以表达所述第一光源的发光方向性的值α得到的值大于2，

所述第二条件为：确定了弥散圆时，所述弥散圆被所述光路屏蔽部件遮挡的部分的面积为所述弥散圆的面积的43～57％，所述弥散圆为在所述光路屏蔽部件的所述透射光的通过位置且在与所述成像透镜的光轴正交的面上形成的、从所述受光面观察到的视场范围。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

除具有所述第一缺陷检查装置之外，还具有第二缺陷检查装置，该第二缺陷检查装置对于成为所述第一缺陷检查装置的检查对象的板状体，接受从板状体反射的照明光而检查缺陷，

所述第二缺陷检查装置具有：

第二光源，向板状体的面照射照明光；及

第二摄像机，使被照射并在板状体的面反射得到的反射光会聚而拍摄明场反射图像，并且设置在从板状体观察时与所述第二光源相同的一侧，

所述处理装置从通过所述第二摄像机拍摄到的明场反射图像提取在板状体反射的图像中的暗部的区域，在该暗部的区域接近并面对所述明部的区域时，判别为在板状体存在缺陷。

4.根据权利要求3所述的缺陷检查系统，其中，

所述处理装置基于在所述明场反射图像中作为缺陷的像形成的缺陷的实像和缺陷的镜像之间的错位，求出位于板状体的缺陷的厚度方向的位置信息。

5.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

所述板状体被向一方向输送而移动，

所述第一缺陷检查装置和所述第二缺陷检查装置中，所述第一缺陷检查装置设置在所述第二缺陷检查装置的上游侧。

6.一种缺陷检查方法，检测具有透明性的板状体所存在的缺陷，其特征在于，

从第一线状光源向所述板状体的面投射光，使通过所述板状体的透射光会聚而通过第一摄像机拍摄明场图像时，

在所述第一摄像机的透射光的光路中的位于所述第一摄像机前方的位置设置刀刃状的光路屏蔽部件而进行拍摄，

从通过所述第一摄像机拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域判别在所述板状体是否存在缺陷区域。