[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及对具有透明性的玻璃板等板状体中存在的缺陷进行检测的缺陷检查系统及缺陷检查方法。

背景技术

目前，由于玻璃板使用于平板显示器等电子设备，因此强烈要求板厚薄、气泡等缺陷极少或完全不存在的玻璃板。

玻璃板中含有的气泡或表面的伤痕等缺陷能够减少，但未必能够完全除去，因此在检查工序中需要将存在气泡等的玻璃板的部分除去之类的处理。因此，以往提出有各种对制造的玻璃板等具有透明性的板状体中存在的气泡等缺陷进行检查的装置。

例如，如图6所示，在输送的玻璃板G的一侧设置比玻璃板G的宽度长的线状光源52而以规定的光强度对玻璃板G进行照射，通过设置在另一侧的线传感器类型的摄像机54拍摄透过玻璃板G的透射光的明场图像，并将该图像向处理单元56发送。通过处理单元56提取明场图像中包含的成为暗部的区域作为缺陷区域。此时，对玻璃基板G进行照射的线状光源52为了通过线传感器类型的摄像机54进行拍摄，而使用沿玻璃板G的宽度方向延伸的细长的狭缝，形成大致平行光。由此，能够检测输送的玻璃板G的缺陷。

另一方面，在下述专利文献1中提出有用于检测透明板状体中的缺陷的缺陷检测方法。在该检测方法中，设置相对于板状体的面以接近垂直的角度进行照明的照明器和以接近平行的角度进行照明的照明器，通过进行使用所述照明器得到的图像的图像处理，而能够检测出在板状体的表面及内部存在的缺陷。

专利文献1：日本国特开2002-214158号公报

发明内容

在上述专利文献1所记载的缺陷检测方法或上述的图6所示的方法中，无法区别在玻璃板的面上存在的缺陷与在内部存在的缺陷。此外，如专利文献1所示，在进行使用两个照明器而改变照明方法进行拍摄时，无法在线上从以一定速度输送的玻璃板检测缺陷。因此，有在玻璃板的制造生产线上无法实施上述缺陷检测方法的问题。

因此，本发明目的在于为了解决上述问题点，提供一种能够高效地判别并检测在板状体是否存在缺陷的缺陷检查系统及缺陷检查方法，并提供一种使用了该检查方法的板状体的制造方法，所述缺陷检查系统、缺陷检查方法能够有效地使用于玻璃板等具有透明性的板状体的制造生产线等。

为了解决上述课题，本发明提供一种缺陷检查系统，检测具有透明性的板状体所存在的缺陷，其特征在于，具备：第一缺陷检查装置，具有：第一线状光源，向所述板状体的面投射光；第一摄像机，使通过所述板状体的透射光会聚而拍摄明场图像；及刀刃状的光路屏蔽部件，设置在所述第一摄像机的透射光的光路中的位于所述第一摄像机前方的位置；及处理装置，从通过所述第一摄像机拍摄到的明场图像中，将比明场图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值，从明场图像中搜索明部的区域，作为搜索的结果提取出明部的区域时，使用该明部的区域判别在所述板状体是否存在缺陷区域。

此时，优选，所述第一光源为线状光源，在所述第一摄像机的受光面的前表面设有用于使板状体的像成像的成像透镜，以满足第一条件和第二条件的方式设定所述第一光源、所述成像透镜及所述第一摄像机，所述第一条件为：将从所述第一光源经由所述成像透镜到达所述第一摄像机的受光面的所述第一光源的透射光光束的扩展角的一半角度作为照明发光有效角，将从所述第一摄像机的受光面的位置经由所述成像透镜到达所述第一光源的照射面的视场范围的预估角的一半角度作为视场角，并设表达所述第一光源的发光方向性的值为α时，所述视场角相对于所述照明发光有效角的比率乘以表达所述第一光源的发光方向性的值α得到的值大于2，所述第二条件为：确定了弥散圆时，所述弥散圆被所述光路屏蔽部件遮挡的部分的面积为所述弥散圆的面积的43～57％，所述弥散圆为在所述光路屏蔽部件的所述透射光的通过位置且在与所述成像透镜的光轴正交的面上形成的、从所述受光面观察到的视场范围。例如，以满足所述第一条件及所述第二条件的方式确定所述第一摄像机的光圈值、所述第一摄像机与板状体之间的距离、板状体与所述第一光源之间的距离、所述第一光源的发光宽度。

尤其是优选，以使第一摄像机的受光元件隔着板状体正对第一光源的方式配置第一摄像机。在此，所谓以正对的方式配置是指将所述第一摄像机的受光元件配置成隔着玻璃板G位于第一光源的最大光强度的方向。