[发明专利]具有移动适配部分的用以耦接O形环的狭缝化TSSL阀门有效
申请号: | 200980134015.4 | 申请日: | 2009-08-27 |
公开(公告)号: | CN102138033A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 梅兰·贝德亚特;栗田真一;约翰·M·怀特;苏希尔·安瓦尔;稻川真 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | F16K1/24 | 分类号: | F16K1/24 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;钟强 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 移动 部分 用以 狭缝 tssl 阀门 | ||
1.一种狭缝阀门,包含:
一第一主体;
一第二主体,其耦接至该第一主体于其一边缘处,且与该第一主体分隔,使得在该第一主体与该第二主体之间存在一第一狭缝;
一第一轴承板,其耦接于该第一主体与该第二主体之间;
一第一伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第二主体之间,且在该第一狭缝上方;以及
一第一夹钳,其耦接至该第一伸缩囊、该第一主体与该第二主体。
2.根据权利要求1所述的狭缝阀门,更包含:
一第三主体,其耦接至该第一主体于其一边缘处,且与该第一主体分隔,使得在该第一主体与该第三主体之间存在一第二狭缝;
一第二轴承板,其耦接于该第一主体与该第三主体之间;
一第二伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第三主体之间,且在该第二狭缝上方;以及
一第二夹钳,其耦接至该第二伸缩囊、该第一主体与该第三主体。
3.根据权利要求2所述的狭缝阀门,更包含:
一第三伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第二主体之间,且在一第三狭缝上方,该第三狭缝实质上垂直于该第一狭缝并形成于该狭缝阀门的该上表面中;以及
一第三夹钳,其耦接至该第三伸缩囊、该第一主体与该第二主体。
4.根据权利要求3所述的狭缝阀门,更包含:
一第四伸缩囊,其耦接于该第一主体与该第三主体之间,且在一第四狭缝上方,该第四狭缝实质上垂直于该第二狭缝并形成于该狭缝阀门的该下表面中;以及
一第四夹钳,其耦接至该第四伸缩囊、该第一主体与该第三主体。
5.根据权利要求4所述的狭缝阀门,其中该第一轴承板与该第二轴承板各包含一种选自由聚醚醚酮与聚四氟乙烯所构成的群组的材料,其中该第一主体中具有一开口,其延伸至该第一狭缝与该第二狭缝,该狭缝阀门更包含一O形环,其耦接至该第一主体、该第二主体与该第三主体。
6.一种负载锁定腔室,包含:
一负载锁定腔室主体,其具有形成通过其一第一表面的至少一个开口;
一狭缝阀门,该狭缝阀门包含:
一门体,其具有一第一主体以及一或多个第二主体与第三主体,该第二主体或该第三主体耦接至该第一主体于其一边缘处,且与其一中央区域中的该中央主体分隔;及
一或多个伸缩囊,其弹性耦接于该第一主体以及该第二主体与该第三主体中至少其一之间;以及
一狭缝阀门致动器,其与该狭缝阀门和该腔室主体耦接。
7.根据权利要求6所述的腔室,其中该狭缝阀门绕一轴可旋转,以使该狭缝阀门相对于该负载锁定腔室主体而自接触该负载锁定腔室主体的一第一位置枢转至与该负载锁定腔室主体分隔的一第二位置。
8.根据权利要求6所述的腔室,更包含一O形环,其耦接至该狭缝阀门。
9.根据权利要求6所述的腔室,其中该一或多个伸缩囊包含耦接于该第一主体以及所述一或多个第二主体与第三主体之间的两个伸缩囊,使得在该负载锁定腔室主体的该第一主体、所述两个伸缩囊中至少其一、以及所述一或多个第二主体与第三主体中至少其一之间围出一气囊。
10.根据权利要求6所述的腔室,更包含一或多个轴承,其配置在该第一主体与该第二主体之间。
11.根据权利要求10所述的腔室,其中所述一或多个轴承包含一种选自由聚醚醚酮与聚四氟乙烯所构成的群组的材料,该腔室更包含一夹钳,其耦接至所述一或多个伸缩囊中至少其一以及该第一主体。
12.根据权利要求6所述的腔室,更包含一夹钳,其耦接至所述一或多个伸缩囊中至少其一以及该第一主体。
13.一种用于排空一腔室的方法,包含以下步骤:
压缩一狭缝阀门与一腔室主体之间的一O形环,该狭缝阀门具有一第一部分与一第二部分;以及
在相对该狭缝阀门的该第二部分移动该狭缝阀门的该第一部分时,在该腔室主体内抽取一真空,以避免该O形环对该腔室主体的摩擦。
14.根据权利要求13所述的方法,更包含以下步骤:
在相对该狭缝阀门的该第二部分移动该狭缝阀门的该第一部分时,排空该腔室主体,以避免该O形环对该腔室主体的摩擦;以及
枢转该狭缝阀门离开该腔室主体,使得该O形环与该腔室主体分隔。
15.根据权利要求14所述的方法,其中该狭缝阀门包含:一伸缩囊,其耦接于该第二部分与该第一部分之间,其中该狭缝阀门具有一轴承,其耦接于该第一部分与该第二部分之间,且其中该第二部分沿着该轴承而移动。
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