[发明专利]具有移动适配部分的用以耦接O形环的狭缝化TSSL阀门

说明书

发明背景

发明领域

本发明的实施方式一般与用于密封腔室中的开口的狭缝阀门(slit valve door)有关。

相关技术的描述

为了将基板引入腔室中，一般需开启一道门，而基板插置穿过一开口而至腔室的内部空间中，接着关闭这道门并抽取(draw)真空。在抽取真空时，腔室本身会压缩，因此开口会因为腔室移动而收缩。当腔室排空时，腔室便回到其正常状态。

当该门对腔室密封时，这道门保持静止，这是因为其并非腔室壁体的一部分。密封机构(一般为O形环)受压于这道门与腔室壁体之间，因此，当腔室压缩或排空时，其将相对于这道门及O形环而移动，并对O形环(且有可能对门)产生摩擦；因为腔室对O形环摩擦，O形环会受损且密封会被破坏而损害腔室的真空完整性。此外，也会因摩擦而产生颗粒。

因此，本领域中需要一种腔室与门装置，以避免颗粒的产生且同时保持真空完整性。

发明概述

本文中所揭露的实施方式一般与用于密封腔室中一开口的狭缝阀门装置有关。当狭缝阀门开口收缩时，压向该腔室以密封狭缝开口的一狭缝阀门与腔室一起移动，使得受压于该狭缝阀门与该腔室之间的O形环可与该狭缝阀门和该腔室一起移动，因此，O形环对腔室发生摩擦的情形会较少。由于较少摩擦，产生的颗粒可较少，因而可延长O形环的使用寿命。由于O形环的使用寿命较长，基板处理量即可增加。

在一实施方式中，一狭缝阀门包括一门体，其具有一第一主体、一第二主体与一第三主体。该第二主体与第三主体各耦接至该第一主体于其一边缘处，并与该第一主体分隔于其一中央区域。狭缝阀门也包括一或多个伸缩囊(bellow)，其耦接于该第一主体以及该第二主体和该第三主体中至少其一之间，使得该第二主体上的一密封与该第三主体上的一密封之间的距离可随着狭缝阀门的宽度变化而改变。

在另一实施方式中，一狭缝阀门包括一第一主体、与该第一主体分隔的一第二主体、以及耦接于该第二主体与该第一主体的第一表面间的一第一伸缩囊。该狭缝阀门也可包括一第二伸缩囊，其耦接于该第二主体以及该第一主体的第二、第三、第四与第五表面之间，使得在第一主体、第二主体、第一伸缩囊与第二伸缩囊之间存在一气囊(air pocket)。

在另一实施方式中，一负载锁定腔室包括一负载锁定腔室主体，至少一个开口可形成于穿过该负载锁定腔室主体的一表面。该负载锁定腔室还可包括一狭缝阀门，该狭缝阀门可包括一门体(door body)，其具有一第一主体、一第二主体与一第三主体。该第二主体与第三主体各可耦接至该第一主体于其一边缘处，并与该第一主体分隔于其一中央区域。狭缝阀门也包括耦接于该第一主体以及该第二主体和该第三主体中至少其一之间的一或多个伸缩囊，以及与该狭缝阀门及该腔室主体耦接的一狭缝阀门致动器。

在另一实施方式中，一负载锁定腔室包括一负载锁定腔室主体，其具有至少一个形成穿过该负载锁定腔室主体的一表面的开口。该负载锁定腔室也包括一狭缝阀门，该狭缝阀门包括一第一主体，其具有一第二表面、第三表面、第四表面、第五表面、第六表面与第七表面。该狭缝阀门也包括与第一主体分隔的一第二主体，以及耦接于该第二主体与该第七表面之间的一第一伸缩囊。该狭缝阀门也包括耦接于该第二主体与负载锁定腔室主体的第二、第三、第四、及第五表面之间的一第二伸缩囊，使得在第一主体、第二主体、第一伸缩囊与第二伸缩囊之间存在一气囊。该负载锁定腔室也可包括一狭缝阀门致动器，其与该狭缝阀门及该腔室主体耦接。

在另一实施方式中，揭露了一种狭缝阀门，该狭缝阀门包括一第一主体以及一第二主体，该第二主体与该第一主体耦接于其一边缘处并与该第一主体分隔，使得在第一主体与第二主体之间存在一第一狭缝。该狭缝阀门也包括耦接于该第一主体与该第二主体之间的一第一轴承板，耦接于该第一主体与该第二主体之间、且位于该第一狭缝上方的一第一伸缩囊，以及耦接至该第一伸缩囊、第一主体与第二主体的一第一夹钳(clamp)。

在另一实施方式中，揭露了一种排空一腔室的方法。该方法包括：压缩一狭缝阀门与一腔室主体之间的一O形环，其中该狭缝阀门具有一第一部分与一第二部分；在该腔室主体内抽取一真空，并相对于该第二部分而移动该腔室主体、该O形环与该第一部分。

附图简要说明

本发明的其它优势、特征与特性可从实施方式说明并参照如附图而了解。然而应注意，这些图仅为说明本发明的典型实施方式之用，因此不应视为限定其范畴，本发明也允许其它等效实施方式。

图1A为腔室100在移除狭缝阀门而进行排空前的示意前视图。

图1B为图1A所示的腔室100在移除狭缝阀门而呈真空的示意前视图。