[发明专利]缺陷检测装置、缺陷检测方法、缺陷检测程序、及记录有该程序的计算机可读取的记录介质

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，

基于被检查像素的亮度值和比较对象像素的亮度值，对所述检查对象物的缺陷进行检测，所述被检查像素的亮度值是从对检查对象物进行拍摄而获得的图像、即具有亮度值以一定的周期重复的图案的图像中提取出的，所述比较对象像素是从离开所述被检查像素所述一定的周期的像素中选出的，所述比较对象像素的亮度值是从所述图像中提取出的，

包含多个所述比较对象像素、且互不相同的多个比较对象像素群与所述被检查像素相对应，包括：

指标计算单元，该指标计算单元对于所述多个比较对象像素群的各比较对象像素群，来计算表示所述比较对象像素群中所包含的各比较对象像素的亮度值、与所述被检查像素的亮度值的偏差的大小的指标；

指标选择单元，该指标选择单元将所述指标计算单元计算出的指标中的、绝对值最小的指标选择作为缺陷检测用指标；以及

缺陷判定单元，该缺陷判定单元基于所述指标选择单元所选择的缺陷检测用指标、和预先决定的阈值的大小关系，来对所述检查对象物的与所述被检查像素相对应的位置是否有缺陷进行判定。

2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

包括比较对象像素设定单元，该比较对象像素设定单元避开所述图像的外缘部来设定所述比较对象像素。

3.如权利要求1或2所述的缺陷检测装置，其特征在于，包括：

缺陷位置存储部，该缺陷位置存储部中存放有表示与所述检查对象物的缺陷位置相对应的所述图像上的位置的缺陷位置数据；以及

比较对象像素改变单元，该比较对象像素改变单元在所述比较对象像素与存放在所述缺陷位置存储部中的缺陷位置数据所示的位置相一致的情况下，将该比较对象像素改变为与所述缺陷位置数据所示的位置不同的位置的像素。

4.如权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述缺陷判定单元将判定为所述检查对象物中有缺陷时的被检查像素在所述图像上的位置、作为所述缺陷位置数据存放到缺陷位置存储部，

所述比较对象像素改变单元使用所述缺陷判定单元存放在所述缺陷位置存储部的缺陷位置数据，来改变比较对象像素。

5.如权利要求1至4的任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，

包括提取位置校正单元，该提取位置校正单元对于所述图像中的、与拍摄时和摄像装置最接近的部位即最临近部位不同的位置的被检查像素及比较对象像素中的至少一个，对该被检查像素及比较对象像素的至少一个亮度值的提取位置进行校正，使其靠近所述最临近部位，并且使该校正量随着成为远离所述最临近部位的位置而变大。

6.如权利要求1至5的任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，

作为所述指标，所述指标计算单元计算：

所述比较对象像素群所包含的各比较对象像素的亮度值的平均值和被检查像素的亮度值之差；

或从所述比较对象像素群中、去除了该比较对象像素群中亮度值最大的比较对象像素或亮度值最小的比较对象像素中的至少一方后剩下的比较对象像素的亮度值的平均值和被检查像素的亮度值之差；

或所述比较对象像素群中所包含的比较对象像素中的、去除了亮度值的偏差值比预定值要大的比较对象像素后剩下的比较对象像素的亮度值的平均值和被检查像素的亮度值之差；

或对所述比较对象像素群所包含的比较对象像素的亮度值进行线性插值而求出的所述被检查像素的位置的亮度值和被检查像素的亮度值之差。