[发明专利]缺陷检测装置、缺陷检测方法、缺陷检测程序、及记录有该程序的计算机可读取的记录介质

说明书

技术领域

本发明涉及缺陷检测装置等，上述缺陷检测装置基于对检查对象物进行拍摄的图像中所包含的被检查像素的亮度值、与比较对象像素的亮度值的偏差，来检测上述检查对象物的缺陷，上述比较对象像素包含于上述图像中，成为与上述被检查像素比较亮度值的对象。

背景技术

LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)显示装置、PDP(PlasmaDisplayPanel：等离子体显示面板)显示装置、EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置、液晶投影仪等使用平板的显示装置的主要不良缺陷，可以列举出线缺陷及点缺陷。点缺陷是由显示装置的各像素本身的不良所引起的，线缺陷是由相邻的信号线的短路、接触不良、驱动器元件不良等所引起的。

在对上述显示装置的线缺陷及点缺陷进行检测的情况下，广泛地使用以下检测方法：即，对成为检查对象的显示装置进行拍摄，对拍摄所得的图像进行解析，从而检测出是否有缺陷、缺陷的位置。根据该方法，由于能够使缺陷检查自动化，因此，能够减少缺陷检查所需要的时间，并且能够削减缺陷检查所需要的人工费用，降低显示装置的制造成本。

由此，由于通过对成为检查对象的装置进行拍摄所得的图像进行解析来检测缺陷的方法具有很大的优点，因此，该检查方法也可应用于显示装置以外的情况。例如，利用上述检查方法对摄像装置的摄像元件的不良进行检测。近年来，随着摄像装置的分辨率迅速提高，存在容易发生CCD等摄像元件的不良的情况。因此，可以应用上述检查方法。另外，也可将上述检查方法应用到对IC等电路的检查中。

然而，在用上述检查方法来对显示装置进行缺陷检测时，利用照相机等摄像装置对显示装置的图形显示面进行拍摄。然而，近年来，由于显示装置的图形显示面的尺寸向着大型化快速发展，因此以下参数也不断增大：即，摄像装置的透镜的像差；及摄像装置的透镜和图形显示面的中央的距离、与摄像装置的透镜和图形显示面的端部的距离之差。

由此，有时会获得以下图像：即，在对图形显示面的中央附近进行拍摄的部分、与对端部附近进行拍摄的部分之间产生变形。另外，在对图形显示面进行拍摄的图像中，还会发生端部附近的亮度值比图形显示面的中央部附近的亮度值要低的明暗变化。而且，在显示装置是使用透射型液晶面板的LCD显示装置的情况下，还会发生因配置多个背光源而引起的亮度不均匀。因此，在例如对检查对象进行拍摄而获得的图像进行二值化处理来检测缺陷的情况下，存在因像素间的亮度值的变动而引起处理结果不稳定的问题。

此处，基于图16，说明明暗变化及亮度不均匀。图16是说明明暗变化及亮度不均匀对于对图形显示面进行拍摄而获得的图像的影响的图。在该图中，示出了对显示装置的图形显示面进行拍摄而获得的图像上的位置和亮度值的关系。xp是表示水平方向(图16的左右方向)的位置的轴，yp是表示垂直方向(图16的上下方向)的位置的轴。另外，x1及y1是表示亮度值的轴。

此外，Ax表示水平方向上的亮度值的分布，Bx表示在比Ax要暗(亮度值低)的图像中的水平方向上的亮度值的分布，Cx表示在有照明不均匀的情况下的水平方向上的亮度值的分布。此外，Ay表示垂直方向上的亮度值的分布，By表示在比Ay要暗(亮度值低)的图像中的垂直方向上的亮度值的分布。

此外，无论是显示明亮的图像时、还是显示较暗的图像时，都将在显示装置上显示图像时的亮度值设定为在整个图形显示面上是均匀的。由此，在将亮度值设定为在整个图形显示面上的亮度值成为均匀的情况下，若不发生明暗变化或亮度不均匀，则对图形显示面进行拍摄而获得的图像中所包含的像素的亮度值会形成均匀的亮度值。

然而，如图16所示，对于较暗的图像的分布Bx及分布By、以及较亮的图像的分布Ax及分布Ay，可以观察到图像的中央部附近和端部附近的亮度值存在差异。另外，对于存在照明不均匀的情况下的分布Cx，亮度值根据水平方向上的位置不同而发生不规则的变化。

由此，即使将整个图像显示面的亮度值设定成为均匀，但在发生明暗变化、亮度不均匀时，根据图形显示面的不同部位而在亮度值中产生差异。因此，在使用上述图像来检测显示装置的显示缺陷(例如线缺陷、点缺陷等)的情况下，需要进行明暗变化校正等。