[发明专利]带有薄膜的玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

其为制造在玻璃基板的主面上形成有薄膜的带有薄膜的玻璃基板的方法，在所述薄膜形成后，通过使所述薄膜相对于所述玻璃基板在所述薄膜的面方向上相对地膨胀或收缩，使所述玻璃基板变形，

所述制造方法包括：

变形工序，通过使所述玻璃基板塑性变形，将所述玻璃基板的所述主面制成弯曲形状，以使在所述薄膜形成后的最终状态下所述玻璃基板的所述主面变为平坦；和

薄膜形成工序，在所述经塑性变形的玻璃基板的主面上形成所述薄膜。

2.如权利要求1所述的带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

所述玻璃基板的塑性变形在将所述玻璃基板加热到低于变形温度50℃的温度以上的温度的状态下进行。

3.如权利要求1或2所述的带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

所述变形工序是以使所述主面变为凸状的方式使所述玻璃基板塑性变形的工序。

4.如权利要求1或2所述的带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

所述变形工序是以使所述主面变为凹状的方式使所述玻璃基板塑性变形的工序。

5.如权利要求1～4中任一项所述的带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

由溅射法或蒸镀法形成所述薄膜。

6.如权利要求1～5中任一项所述的带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

通过叠层多层薄膜来形成所述薄膜。

7.如权利要求1～6中任一项所述的带有薄膜的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

所述带有薄膜的玻璃基板是贴附在摄像元件上的红外线截止滤光片。