[发明专利]支援发现检查对象物的缺陷的系统及方法有效
申请号: | 200980134528.5 | 申请日: | 2009-08-03 |
公开(公告)号: | CN102144155A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 冈田雅州;土居意弘;森由美;植山晋辅 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01M11/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;孟祥海 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支援 发现 检查 对象 缺陷 系统 方法 | ||
1.一种用于支援发现检查对象物的缺陷的系统,其特征在于,包括:
获取部,用于获取通过对上述检查对象物进行拍摄而得到的摄影图像;
判断部,通过第一通信线路连接着上述获取部,用于判断由上述获取部所获取的上述摄影图像中的、包含上述检查对象物缺陷部分的区域的图像即缺陷图像;以及
保存部,通过第二通信线路连接着上述获取部,用于保存由上述判断部判断出的上述缺陷图像,
上述获取部通过上述第一通信线路向上述判断部发送上述摄影图像,并且将上述摄影图像存储在本身的存储器内,当通过上述第一通信线路从上述判断部接收到用于确定上述缺陷图像的图像确定信息时,通过上述第二通信线路向上述保存部发送由存储在上述存储器内的上述摄影图像中的上述图像确定信息所确定的上述缺陷图像。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述图像确定信息包含具有上述摄影图像的识别号码、上述缺陷部分的个数、以及由上述缺陷部分的坐标和区域构成的缺陷区域信息的组中的至少一者。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述获取部从存储在上述存储器内的上述摄影图像上切出上述缺陷图像,并将上述缺陷图像发送给上述保存部。
4.根据权利要求3所述的系统,其特征在于,
上述获取部在从上述判断部接收到用于确定存储在上述存储器内的上述拍摄图像内的上述缺陷图像所占有的区域的区域确定信息来作为上述图像确定信息时,将由上述摄影图像内的上述区域确定信息所确定的区域作为上述缺陷图像来切出。
5.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述获取部在从上述判断部接收到存储在上述存储器内的上述摄影图像不包含上述缺陷图像这一情况的信息时,从上述存储器内删除上述摄影图像。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述摄影图像包含多个图像碎片,
上述获取部向上述保存部发送存储在上述存储器内的上述摄影图像所包含的多个图像碎片中的包含上述缺陷图像的图像碎片。
7.根据权利要求6所述的系统,其特征在于,
上述获取部在从上述判断部接收到用于确定存储在上述存储器内的上述摄影图像所包含的多个图像碎片中的包含上述缺陷图像的图像碎片的碎片确定信息来作为上述图像确定信息时,向上述保存部发送由上述多个图像碎片中的上述碎片确定信息所确定的图像碎片。
8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述摄影图像包含多个图像碎片,
上述获取部在从上述判断部接收到存储在上述存储器内的上述摄影图像所包含的多个图像碎片中的确定的图像碎片不包含上述缺陷图像这一情况的信息时,从上述存储器内删除上述确定的图像碎片。
9.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述判断部不向上述获取部发送判断出的上述缺陷图像而删除上述缺陷图像。
10.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
上述第二通信线路的带宽大于上述第一通信线路的带宽。
11.一种用于支援发现检查对象物的缺陷的方法,其特征在于,包括以下步骤:
获取部从拍摄部获取通过该拍摄部对上述检查对象物进行拍摄而得到的摄影图像;
上述获取部通过第一通信线路将上述摄影图像发送给判断部;
上述获取部将上述摄影图像存储在本身的存储器内;
上述判断部判断通过上述第一通信线路从上述获取部接收到的上述摄影图像中的、包含上述检查对象物缺陷部分的区域的图像即缺陷图像;
上述判断部通过上述第一通信线路向上述获取部发送用于确定上述缺陷图像的图像确定信息;以及
上述获取部通过第二通信线路向保存部发送存储在上述存储器内的上述摄影图像中的由上述图像确定信息所确定的上述缺陷图像。
12.一种用于支援发现检查对象物的缺陷的方法,其特征在于,包括以下步骤:
获取部从拍摄部获取通过该拍摄部对上述检查对象物进行拍摄而得到的摄影图像的多个图像碎片;
上述获取部通过第一通信线路将上述多个图像碎片发送给判断部;
上述获取部将上述多个图像碎片存储在本身的存储器内;
上述判断部判断通过上述第一通信线路从上述获取部接收到的上述多个图像碎片中的、包含上述检查对象物缺陷部分的区域的图像即缺陷图像;
上述判断部通过上述第一通信线路向上述获取部发送用于确定存储在上述存储器内的上述多个图像碎片中的包含上述缺陷图像的图像碎片的碎片确定信息和用于确定上述图像碎片内的上述缺陷图像所占有的区域的区域确定信息;
上述获取部将存储在上述存储器内的上述多个图像碎片中的由上述碎片确定信息所确定的图像碎片内的由区域确定信息所确定的区域作为上述缺陷图像来切出;以及
上述获取部将所切出的上述缺陷图像发送给保存部。
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