[发明专利]支援发现检查对象物的缺陷的系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及支援发现检查对象物的缺陷的系统及方法。本发明尤其涉及处理检查对象物的图像，支援发现该缺陷的系统及方法。

背景技术

近年来，在制造LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)、半导体晶片等工场的生产线上进行着通过用高分辨率的照相机拍摄所制造的LCD、晶片等的表面，对拍摄数据进行图像分析，来自动检查LCD、晶片等的缺陷。

在此，作为用于检查在制作LCD时使用的光掩模等极小图案的缺陷的技术，提出有输出将对光掩模中的光学图像与参考图像进行比较后的结果的技术，其中，参考图像是根据包含在CAD数据文件中的图形数据所生成的(例如，参照专利文献1)。在专利文献1中，光学图像获取部获取光掩模中的光学图像，其中，光掩模成为描绘有包含在CAD数据文件中的图形数据所示图形的样本。然后，在比较电路中，使用预定的算法对光学图像与参考图像进行比较，将判断为缺陷的图像等输出到复查装置，其中，参考图像是将包含在CAD数据文件中的图形数据变换为图像数据施加预定的过滤处理而生成的。

专利文献1：日本特开2007-85995号公报

发明内容

这样，通过处理LCD等图像来检查其缺陷的技术已经存在。

但是，近来，伴随着LCD等中的检查面积的巨大化、用于显示大量数据的LCD等的高精细化，对比较光学图像与参考图像的图像处理的性能要求变高。因此，在专利文献1中，考虑有将比较光学图像与参考图像的比较电路做成与用于获取光学图像的光学图像单元装置不同的高性能的专用单元。

然而，即使通过使用高性能的专用单元解决了对图像处理的性能要求，但在将判断为缺陷的图像输出到复查装置时，不能解决伴随着数据传送量的巨大化，用于在系统内进行数据通信的带宽不足这样的问题。在此，带宽是指传送路径容量，用可传送的比特率表示。

即使对上述问题设计成采用最大限度地获取带宽那样的系统结构，也需要使比较电路集中进行图像处理，因此具有与周边单元的通信能力和增大的数据传送量不平衡的可能性。

另外，为了使传送数据量变小，也考虑对判断为缺陷的图像进行压缩。但是，该处理产生致使原来的图像处理性能降低的新问题。

本发明的目的在于避免连接在进行图像处理的单元上的通信线路的带宽不足这样的情况，其中图像处理用于判断检查对象物的缺陷部分的图像。尤其在于消除图像处理单元与结果保存单元之间带宽的增大。

基于上述目的，本发明提供一种用于支援发现检查对象物的缺陷的系统，包括：获取部，用于获取通过对检查对象物进行拍摄所得到的摄影图像；判断部，通过第一通信线路连接着获取部，判断由获取部所获取的摄影图像中的、包含检查对象物的缺陷部分的区域的图像即缺陷图像；以及保存部，通过第二通信线路被连接着获取部，保存由判断部所判断的缺陷图像，获取部通过第一通信线路将摄影图像发送给判断部，并且将摄影图像存储在本身的存储器内，在通过第一通信线路从判断部接收用于确定缺陷图像的图像确定信息时，通过第二通信线路向保存部发送存储在存储器内的摄影图像中的由图像确定信息所确定的缺陷图像。

在此，也可以是，图像确定信息包含具有上述摄影图像的识别号码、上述缺陷部分的个数、以及由上述缺陷部分的坐标和区域构成的缺陷区域信息的组中的至少一者。

另外，也可以是，获取部从存储在存储器内的摄影图像切出缺陷图像，将缺陷图像发送给保存部。这种情况下，获取部可以在从判断部接收用于确定存储在存储器内的摄影图像内的缺陷图像所占有的区域的区域确定信息作为图像确定信息时，将由摄影图像内的区域确定信息所确定的区域切出来作为缺陷图像。

另外，也可以是，获取部在从判断部接收到存储在存储器内的摄影图像不包含缺陷图像这一情况的信息时，从存储器删除摄影图像。

另一方面，也可以是，摄影图像包含多个图像碎片，获取部向保存部发送存储在存储器内的摄影图像所包含的多个图像碎片中的包含缺陷图像的图像碎片。这种情况下，获取部可以在从判断部接收到用于确定包含存储在存储器内的摄影图像所具有的多个图像碎片中的缺陷图像的图像碎片的碎片确定信息作为图像确定信息时，向保存部发送由多个图像碎片中的碎片确定信息所确定的图像碎片。

另外，也可以是，摄影图像包含多个图像碎片，获取部从判断部接收到未包含存储于存储器内的摄影图像所具有的多个图像碎片中的确定的图像碎片这一情况的信息时，从存储器内删除确定的图像碎片。

另外，也可以是，判断部在未向获取部发送所判断的缺陷图像的情况下，删除缺陷图像。