[发明专利]基板输送机器人及系统

权利要求书

1. 一种基板输送机器人，其特征在于，

具备：末端执行器，大致水平地保持基板；垂直驱动单元，将上述末端执行器沿垂直方向驱动；水平驱动单元，将上述垂直驱动单元沿水平方向驱动；以及旋转驱动单元，驱动上述水平驱动单元绕垂直方向的旋转轴线旋转；

在上述垂直驱动单元上连接着上述末端执行器的端部；

在上述水平驱动单元上连接着上述垂直驱动单元的端部。

2. 如权利要求1所述的基板输送机器人，其特征在于，上述水平驱动单元具有：行驶支撑部件，是沿水平方向延伸、包括前端部及后端部的行驶支撑部件，由上述旋转驱动单元驱动而绕上述旋转轴线旋转；以及行驶驱动机构，驱动上述垂直驱动单元在上述行驶支撑部件的上述前端部与上述后端部之间行驶。

3. 如权利要求2所述的基板输送机器人，其特征在于，上述行驶驱动机构具有：水平输送带，架设在上述行驶支撑部件的上述前端部与上述后端部之间，固定安装着上述垂直驱动单元的下端部；以及水平输送用马达，驱动上述水平输送带。

4. 如权利要求1～3中任一项所述的基板输送机器人，其特征在于，上述垂直驱动单元具有：升降支撑部件，是沿垂直方向延伸、包括上端部及下端部的升降支撑部件，上述下端部安装在上述水平驱动单元上；以及升降驱动机构，驱动上述末端执行器在上述升降支撑部件的上述上端部与上述下端部之间升降。

5. 如权利要求4所述的基板输送机器人，其特征在于，上述升降驱动机构具有：垂直输送带，架设在上述升降支撑部件的上述上端部与上述下端部之间，固定安装着上述末端执行器的基端部；以及垂直输送用马达，驱动上述垂直输送带。

6. 如权利要求1～5中任一项所述的基板输送机器人，其特征在于，

上述末端执行器沿水平方向延伸，具有基端部及前端部，上述基端部安装在上述垂直驱动单元上；

当上述垂直驱动单元位于上述水平驱动单元的后端部时，上述末端执行器的上述前端部位于比上述水平驱动单元的前端靠后端侧。

7. 如权利要求1～6中任一项所述的基板输送机器人，其特征在于，上述旋转轴线处于比上述水平驱动单元的前后方向的中央位置靠后端的位置上。

8. 一种基板输送系统，其特征在于，具备：

机器人，是权利要求1所述的基板输送机器人，对相邻于上述机器人而配置的、用来处理上述基板的基板处理装置运入运出上述基板；

基板运入运出单元，相邻于上述机器人而配置，用来将上述基板运入到上述机器人的附近、并且将从上述机器人接受到的上述基板运出。

9. 如权利要求8所述的基板输送系统，其特征在于，还具备临时储存装置，相邻于上述机器人而配置，将由上述机器人在上述基板运入运出单元与上述基板处理装置之间输送的上述基板临时储存的。

10. 如权利要求9所述的基板输送系统，其特征在于，

上述末端执行器沿水平方向延伸，具有基端部及前端部，上述基端部安装在上述垂直驱动单元上；

上述机器人构成为，当上述垂直驱动单元位于上述水平驱动单元的后端部时，上述末端执行器的上述前端部位于比上述水平驱动单元的前端靠后端侧；

在上述基板处理装置及上述临时储存装置中的至少1个装置的下部，形成有至少面向上述机器人的一侧开放的开放空间；

上述机器人配置成当上述水平驱动单元绕上述旋转轴线旋转时上述水平驱动单元的前端部通过至少1个上述开放空间内。

11. 如权利要求10所述的基板输送系统，其特征在于，

上述基板处理装置与上述基板运入运出单元中间夹着上述机器人而对置配置；

上述临时储存装置配置在与连结上述基板处理装置和上述基板运入运出单元的线正交的线上。

12. 如权利要求11所述的基板输送系统，其特征在于，具备中间夹着上述机器人而对置配置的一对上述临时储存装置。

13. 如权利要求8～12中任一项所述的基板输送系统，其特征在于，上述旋转轴线处于比上述水平驱动单元的前后方向的中央位置靠后端的位置上。