[发明专利]基板输送机器人及系统

说明书

技术领域

本发明涉及用来输送基板的机器人及具备该机器人的基板输送系统。特别是，本发明的基板输送机器人及系统适合于太阳能电池板用的大型玻璃基板那样的较重的基板的输送。

背景技术

为了对化学蒸镀装置（CVD装置）那样的基板处理装置送入要处理的基板、将已处理的基板运出而使用各种机器人。

作为处理的基板的一例，有在太阳能电池板中使用的方形的玻璃基板，其尺寸为一边超过2m，是大型的重物。

为了将太阳能电池板用的玻璃基板那样的大型的重物安全且可靠地输送，需要能够充分承受这样的重量的机器人。

此外，关于为了设置基板输送系统而需要的地面面积，为了能够进行有限的空间中的安设，希望尽可能小。

专利文献1：特开2008－137115号公报

专利文献2：特开2008－73788号公报

专利文献3：特开2007－260862号公报

专利文献4：特开2007－54939号公报

但是，在以往的基板输送机器人中，在使基板与末端执行器一起升降时，不仅是保持有基板的末端执行器、安装着末端执行器的臂等也一起被驱动而升降。

因此，为了将一边超过2m那样的大型的重量玻璃基板安全且可靠地升降，作为驱动源而需要大容量的马达，由此，有装置大型化、其制造成本增大的问题。

此外，以往的基板输送机器人除了如上述那样其自身大型化的问题以外，还具有在将基板处理装置等配置在机器人的周围时，在防止与基板或臂的干涉的关系上难以采用紧凑的布局的问题。

进而，以往的基板输送机器人由于是在末端执行器的水平移动时将臂沿水平方向伸展的构造，所以有起因于伸展的臂的自重带来的挠曲的末端执行器的位置偏移的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而提出的，目的是提供一种在防止构造的大型化的同时、能够将大型玻璃基板那样的重物安全且可靠地输送的基板输送机器人以及具备该机器人的基板输送系统。

此外，本发明的目的是提供一种在将基板处理装置等配置在基板输送机器人的周围时、能够采用紧凑的布局的基板输送机器人以及具备该机器人的基板输送系统。

为了解决上述问题，本发明的基板输送机器人的特征在于，具备：末端执行器，大致水平地保持基板；垂直驱动单元，将上述末端执行器沿垂直方向驱动；水平驱动单元，将上述垂直驱动单元沿水平方向驱动；以及旋转驱动单元，驱动上述水平驱动单元绕垂直方向的旋转轴线旋转；在上述垂直驱动单元上连接着上述末端执行器的端部；在上述水平驱动单元上连接着上述垂直驱动单元的端部。

优选的是，上述水平驱动单元具有：行驶支撑部件，是沿水平方向延伸、包括前端部及后端部的行驶支撑部件，由上述旋转驱动单元驱动而绕上述旋转轴线旋转；以及行驶驱动机构，驱动上述垂直驱动单元在上述行驶支撑部件的上述前端部与上述后端部之间行驶。

优选的是，上述行驶驱动机构具有：水平输送带，架设在上述行驶支撑部件的上述前端部与上述后端部之间，固定安装着上述垂直驱动单元的下端部；以及水平输送用马达，驱动上述水平输送带。

优选的是，上述垂直驱动单元具有：升降支撑部件，是沿垂直方向延伸、包括上端部及下端部的升降支撑部件，上述下端部安装在上述水平驱动单元上；以及升降驱动机构，驱动上述末端执行器在上述升降支撑部件的上述上端部与上述下端部之间升降。

优选的是，上述升降驱动机构具有：垂直输送带，架设在上述升降支撑部件的上述上端部与上述下端部之间，固定安装着上述末端执行器的基端部；以及垂直输送用马达，驱动上述垂直输送带。

优选的是，上述末端执行器沿水平方向延伸，具有基端部及前端部，上述基端部安装在上述垂直驱动单元上；当上述垂直驱动单元位于上述水平驱动单元的后端部时，上述末端执行器的上述前端部位于比上述水平驱动单元的前端靠后端侧。

优选的是，上述旋转轴线处于比上述水平驱动单元的前后方向的中央位置靠后端的位置上。