[发明专利]有机薄膜蒸镀装置、有机EL元件制造装置、及有机薄膜蒸镀方法

权利要求书

1. 一种有机薄膜蒸镀装置，其中，构成为具有：

真空槽；

第一、第二基板配置装置，配置在所述真空槽内，配置第一、第二基板；

第一、第二掩模，分别位于所述第一、第二基板配置装置上，形成有开口；

第一旋转轴，进行工作，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的水平姿势，此外，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为竖立设置的竖立姿势；

第二旋转轴，进行工作，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的所述水平姿势，此外，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为竖立设置的所述竖立姿势；以及

第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，从设置在第一、第二有机蒸气放出面的放出口使有机材料蒸气放出，

通过所述第一、第二旋转轴的工作，所述第一、第二基板分别被所述第一、第二基板配置装置、和所述第一、第二掩模夹持并在所述水平姿势与所述竖立姿势之间变更姿势，

所述第一、第二有机蒸气放出面分别与成为所述竖立姿势的所述第一、第二掩模面对，从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出的所述有机材料蒸气，通过所述第一、第二掩模的开口而到达所述成膜面。

2. 根据权利要求1所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，所述竖立姿势是所述第一、第二成膜对象物从所述水平姿势起旋转移动不足90°的角度，配置有所述第一、第二掩模的面朝上倾斜。

3. 根据权利要求1或2的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，在所述第一、第二基板配置装置分别形成有冷却介质液流过的通路。

4. 根据权利要求1至3的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，

构成为在所述第一、第二有机蒸气放出装置分别连接有蒸气产生源，

在所述蒸气产生源生成的所述有机材料蒸气能够从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出。

5. 根据权利要求1至4的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，具有：第一、第二吸付磁铁，设置在所述第一、第二基板配置装置，将所述第一、第二掩模向所述第一、第二基板配置装置磁吸附。

6. 根据权利要求1至5的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，具有：掩模移动装置，在所述水平姿势的所述第一、第二基板配置装置上，使所述第一、第二掩模在上下方向分别移动。

7. 一种有机EL元件制造装置，其中，

具有：搬送室，配置有基板搬送机器人，

在所述搬送室连接有权利要求1至6的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置。

8. 一种有机薄膜蒸镀方法，其中，

分别竖立设置好有机薄膜蒸镀装置的第一、第二有机蒸气放出面，所述有机薄膜蒸镀装置具有：第一、第二基板配置装置，配置在同一真空槽内，能够配置基板；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，在所述第一、第二有机蒸气放出面形成有放出口，

进行以下工序：

第一配置工序，将第一基板搬入所述真空槽内，将所述第一基板配置在处于水平的水平姿势的所述第一基板配置装置；

第一竖立工序，使所述第一基板保持在所述第一基板配置装置并成为竖立的竖立姿势，使其面对所述第一有机蒸气放出面；

第一成膜开始工序，从所述第一有机蒸气放出装置的所述放出孔使有机材料蒸气的放出开始；

第二配置工序，在所述第一基板配置装置处于所述竖立姿势的期间，将第二基板搬入所述真空槽内，配置在成为所述水平姿势的所述第二基板配置装置；

第二竖立工序，使所述第二基板保持在所述第二基板配置装置并成为所述竖立姿势，使其面对所述第二有机蒸气放出面；

第二成膜开始工序，从所述第二有机蒸气放出装置的所述放出孔使有机材料蒸气的放出开始；以及

第一搬出工序，在所述第二基板配置装置为竖立的期间，使所述第一基板配置装置为所述水平姿势，将所述第一基板搬出至所述真空槽外，

通过以上工序，在所述第二基板成膜中，将成膜了的所述第一基板搬出。