[发明专利]有机薄膜蒸镀装置、有机EL元件制造装置、及有机薄膜蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL显示装置的技术领域，特别涉及制造使用于有机EL元件的有机薄膜的有机薄膜蒸镀装置，和具有该有机薄膜蒸镀装置的有机显示装置制造装置。

背景技术

对于制造有机EL元件的装置，已知有集群（cluster）方式与沿线（in line）方式。

图11（a）是集群方式的制造装置200。从搬入室201搬入的基板通过配置在搬送室209内的搬送机器人，被搬入至连接于搬送室209的蒸镀室202~206内，在各蒸镀室202~206依次形成有机薄膜，经由交接室207而移动至下一级的搬送室219。

在下一级的搬送室219也配置有基板搬送机器人，在配置于该搬送室219周围的蒸镀室211~214间依序移动，在各蒸镀室211~214中对有机薄膜、阴极电极进行成膜，从搬出室215被搬出到制造装置200的外部。

在各搬送室209、219连接有掩模贮存室221、222。在蒸镀室202~206、211~214内相对于基板对掩模进行对准并加以成膜，在复数枚数的向基板的成膜中使用、使用次数变多的掩模与配置于掩模贮存室221、222内的掩模进行交换，从而能够连续处理许多的基板。

图11（b）是沿线方式的制造装置300。

在前级的搬送室309与后级的搬送室329的内部配置有基板搬送机器人，被搬入到搬入室301的基板通过前级的搬送室309内的基板搬送机器人，被搬入至连接于搬送室309的预处理室302。

此外，在搬送室309连接有移动室311，在预处理室302内进行了预处理的基板经由移动室311，移动至未连接于搬送室309的对准室312。

在对准室312内配置有掩模，基板与掩模在被对准并将掩模装配于基板之后，经由方向转换室313被搬入至沿线蒸镀室314内。

在沿线蒸镀室314内中，基板与掩模一边移动，一边在基板表面对有机薄膜进行成膜，从沿线蒸镀室314搬出的基板与掩模经由方向转换室315而被搬入至分离室316，分离掩模与基板。

分离室316连接于后级的搬送室329，在分离室316内分离的基板经由后级的搬送室329，搬入至连接于搬送室329的溅射室321、322。

在溅射室321、322内在基板上对阴极电极膜进行成膜，经由搬出室323，取出至有机EL元件制造装置300的外部。

被分离的掩模被回收至回收室332。新的掩模配置于供给室331，供给至对准室312。

专利文献1：日本特开2008-56966号公报；

专利文献2：日本特开2004-241319号公报。

发明内容

发明要解决的课题

在上述的二种有机EL元件制造装置200，300中，在应对大型的基板的情况下、要使单件工时缩短的情况下，产生有以下的问题。

（1） 掩模通过基板搬送机器人进行交换，但伴随着基板的大型化而掩模大型化，但目前不存在能搬送大型掩模的基板搬送机器人。即使已经开发了，也过于大型。

（2） 当要缩短单件工时时，必须增加成膜室的数量，装置成本、底面积增大。此外需要与蒸镀装置相同数量的对准装置、真空槽、和排气系统，因此成本增加，装置变得复杂化。

（3） 在沿线装置的情况下，当真空槽的数量多时，变成大型装置。特别是在制作RGB分涂器件的情况下，沿线的环路最低也变为3个以上，因此装置更大型化。

解决课题的方案

为了解决上述课题，本发明的有机薄膜蒸镀装置，具有：真空槽；第一、第二基板配置装置，配置在所述真空槽内，配置第一、第二基板；第一、第二掩模，分别位于所述第一、第二基板配置装置上，形成有开口；第一旋转轴，进行工作，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的水平姿势，此外，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为竖立设置的竖立姿势；第二旋转轴，进行工作，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的所述水平姿势，此外，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为竖立设置的所述竖立姿势；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，从设置在第一、第二有机蒸气放出面的放出口使有机材料蒸气放出，通过所述第一、第二旋转轴的工作，所述第一、第二基板分别被所述第一、第二基板配置装置、和所述第一、第二掩模夹持并在所述水平姿势与所述竖立姿势之间变更姿势，所述第一、第二有机蒸气放出面分别与成为所述竖立姿势的所述第一、第二掩模面对，从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出的所述有机材料蒸气，通过所述第一、第二掩模的开口而到达所述成膜面。