[发明专利]图像处理方法、图像处理装置及使用该图像处理装置的表面检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及对包括由像素单位的浓淡值构成的物体表面图像的图像进行处理的图像处理方法、图像处理装置、及使用该图像处理装置的表面检查装置。

背景技术

以往提出了拍摄物体的表面，并根据得到的图像来检查所述物体表面的缺陷的表面检查装置(参照专利文献1)。在该表面检查装置中，利用线传感器对半导体晶片、液晶玻璃基板等被检查物体的表面进行扫描，根据从该线传感器输出的摄像信号，生成二维的被检查体的表面图像。并且，对该表面图像的各个部分进行处理，根据该各个部分经处理后的表面图像中的浓淡状态等，检测被检查体表面的缺陷(膜厚不均和图案缺陷等)。

专利文献

专利文献1：日本特开2007-147441号公报

可是，作为在上述的表面检查装置中进行的针对物体表面图像的处理，能够进行用于强调物体表面图像中的缺陷部分的浓淡的滤波处理。该滤波处理是考虑周围像素的浓淡值来强调各个关注像素的浓淡值的处理。即，对所述物体表面图像实施对二维排列的多个像素(关注像素及其周围像素)的浓淡值进行依次处理的二维图像处理。

但是，在该物体表面图像的边缘线部分，浓淡值在该边缘线的内侧(边缘部图像)和外侧(背景图像)急剧变化，因此在二维图像处理中，在该边缘线部分的区域中不能得到合适的已处理图像。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而提出的，提供一种图像处理方法和图像处理装置、以及使用该图像处理装置的表面检查装置，能够得到在物体表面图像的边缘部分的区域中实施了合适的图像处理的图像。

本发明的图像处理方法构成为包括：图像取得步骤，取得由像素单位的浓淡值构成的、包括物体表面图像的被处理图像；边缘部图像确定步骤，将包括在所述被处理图像中设定的所述物体表面图像的边缘线的、在与该边缘线正交的方向上为预定宽度的区域的图像，确定为边缘部图像；变换步骤，将所述边缘部图像变换为宽度相当于所述预定宽度的矩形图像；以及图像处理步骤，对所述矩形图像实施对在与该宽度方向正交的方向上排列的多个像素的浓淡值依次进行处理的一维图像处理。

根据这种结构，包括在被处理图像中设定的物体表面图像的边缘线的、在与该边缘线正交的方向上为预定宽度的区域的边缘部图像，被变换为宽度相当于该预定宽度的矩形图像，对该矩形图像实施对在与该宽度正交的方向上排列的多个像素的浓淡值依次进行处理的一维图像处理。在针对所述矩形图像的一维图像处理中，对在与该矩形图像的宽度方向正交的方向上排列的多个像素的浓淡值依次进行处理，因而所述矩形图像在沿着与所述物体表面图像的边缘线对应的直线的方向上被依次进行处理。

在本发明的图像处理方法中也能够构成为还包括逆变换步骤，在该步骤中，将实施了所述一维图像处理的所述矩形图像逆变换为原来区域的图像，生成已处理边缘部图像。

根据这种结构，实施了一维图像处理的所述矩形图像被逆变换为原来区域的图像，生成已处理边缘部图像。如前面所述，针对矩形图像的一维图像处理是在沿着与所述物体表面图像的边缘线对应的直线的方向上的处理，所以将已实施该一维图像处理的矩形图像进行逆变换得到的已处理边缘部图像，实质上是沿着所述物体表面图像的边缘线实施图像处理后的图像。

另外，在本发明的图像处理方法中也能够构成为，在所述边缘部图像确定步骤中，将下述区域的图像确定为所述边缘部图像，所述区域是指在所述边缘线的所述物体表面图像的内侧方向上为第一预定宽度，在所述边缘线的所述物体表面图像的外侧方向上为第二预定宽度的区域。

根据这种结构，即使在被处理图像中未设定与该物体表面图像的边缘准确一致的边缘线，也能够将一定包括该物体表面图像边缘的区域的图像确定为边缘部图像。

另外，在本发明的图像处理方法中也能够构成为，所述变换步骤包括：位置变换步骤，取得所述边缘部图像中的与所述矩形图像的各个像素对应的位置；以及根据所述边缘部图像中的各个像素的浓淡值，确定与所述取得的边缘部图像中的各个位置对应的、所述矩形图像的像素的浓淡值的步骤。

根据这种结构，取得与构成矩形图像的各个像素对应的边缘部图像中的位置，根据所述边缘部图像中的各个像素的浓淡值，确定与所述取得的边缘部图像中的各个位置对应的、所述矩形图像的像素的浓淡值。