[发明专利]盘涂敷装置

权利要求书

1.一种盘涂敷装置，该盘涂敷装置具备旋转滚筒和收纳所述旋转滚筒的框体，该旋转滚筒设置成以大体水平的旋转轴线为中心自由旋转，并且经由形成于轴向端部的开口部流入空气，其特征在于，所述盘涂敷装置具有：

供气腔，该供气腔设于所述旋转滚筒的所述开口部前段，其一端侧与所述开口部连通，并且具有比该开口部大的截面面积，和

供气通道，该供气通道与形成于所述供气腔的另一端侧的供气孔连接，向该供气腔内供给空气；

所述供气腔使由所述供气通道流入到该供气腔内的空气的流速降低，将该空气供给到所述开口部。

2.如权利要求1所述的盘涂敷装置，其特征在于，相对于所述开口部的截面面积，所述供气腔的与所述开口部相向的截面面积设定为2倍以上且8倍以下。

3.如权利要求1所述的盘涂敷装置，其特征在于，在所述框体正面的与所述开口部相向的位置上自由开闭地设置箱形的腔门，在该腔门内形成所述供气腔。

4.如权利要求3所述的盘涂敷装置，其特征在于，所述腔门的正面内侧形成为曲面状，在所述供气腔的正面侧设有曲面状的内壁。

5.如权利要求1所述的盘涂敷装置，其特征在于，在所述供气腔与所述供气通道的连接部，设有对由所述供气通道流入到该供气腔内的空气进行整流的风向板。