[发明专利]液压成形流体沟道

权利要求书

1.一种用于形成流体沟道的方法，其包含：

提供具有第一厚度的第一部件和具有第二厚度的第二部件，所述第一部件的所述第一厚度比所述第二部件的所述第二厚度厚至少大约三倍；

通过连续焊接而将所述第一部件紧固至所述第二部件以形成由所述第一部件与所述第二部件之间的所述焊接所限制的初始体积；以及

对所述初始体积加压直到所述第二部件永久地变形为止，以使所述初始体积扩大至少两倍。

2.如权利要求1所述的方法，其中对所述部件的紧固进一步包含：

用所述连续焊接定义狭长的图案。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述狭长的图案包括至少一段180度弯曲部以定义“U”形。

4.如权利要求2所述的方法，其中所述狭长的图案定义蛇形。

5.如权利要求2所述的方法，其进一步包含：

通过位于所述狭长的图案相对两端的所述第二部件形成端口。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述第一部件具有初始形状并且所述初始形状在加压后未被改变。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述初始形状是平面的。

8.如权利要求6所述的方法，其中所述初始形状是弧形的。

9.如权利要求6所述的方法，其中所述第一部件是真空处理室的腔室主体的一部分。

10.一种用于腔室的侧壁，其包含：

第一部件，具有第一厚度，所述第一部件包含腔室主体的至少一部分；

第二部件，具有第二厚度，所述第一厚度比所述第二厚度厚至少大约三倍；以及

包容区域，通过连续焊缝于所述第一部件与所述第二部件之间形成，所述包容区域包含所述第一部件的外表面和所述连续焊缝内向的所述第二部件的一部分，所述第二部件的所述部分具有第三厚度，所述第三厚度小于所述第二厚度。

11.如权利要求10所述的侧壁，其中所述包容区域定义狭长的图案。

12.如权利要求11所述的侧壁，其中所述狭长的图案包括至少一段180度弯曲部以定义“U”形。

13.如权利要求11所述的侧壁，其中所述狭长的图案定义蛇形。

14.如权利要求10所述的侧壁，其进一步包含：

入口和出口，形成在所述第二部件中，所述入口和所述出口中的每一个均流体连通所述包容区域。

15.如权利要求14所述的侧壁，其进一步包含：

入口配件和出口配件，分别耦接至所述入口和所述出口，所述入口配件耦接至冷却流体源。