[发明专利]探针单元用基座构件及探针单元

权利要求书

1.一种探针单元用基座构件，其设置于探针单元，固定并保持探针架座，该探针单元具备通过两端分别与不同的两个被接触体接触的导电性的探针、将多个所述探针以各探针的两端部露出的状态排列成规定的图案而进行收容的所述探针架座，所述探针单元用基座构件的特征在于，具备：

导电性的基板，其具有能够嵌合所述探针架座的第一开口部及与所述第一开口部连通的第二开口部；

被膜，其由包含绝缘性粘接剂的材料构成，至少覆盖所述第二开口部的边缘；以及

绝缘性的引导构件，其经由所述被膜粘接于所述第二开口部的边缘，将所述两个被接触体的一方向与所述探针接触的接触位置引导。

2.根据权利要求1所述的探针单元用基座构件，其特征在于，

所述引导构件由具有比所述绝缘性粘接剂高的防静电性的材料构成。

3.根据权利要求1或2所述的探针单元用基座构件，其特征在于，

所述第二开口部的开口面积比所述第一开口部的开口面积大，

沿着所述第一开口部与所述第二开口部的边界切削出所述第一开口部与所述第二开口部的台阶面。

4.根据权利要求3所述的探针单元用基座构件，其特征在于，

所述台阶面上露出有所述基板。

5.一种探针单元，其特征在于，具有：

导电性的探针，其通过两端分别与不同的两个被接触体接触；

探针架座，其将多个所述探针以各探针的两端部露出的状态排列成规定的图案而进行收容；以及

探针单元用基座构件，其具备：导电性的基板，其具有能够嵌合所述探针架座的第一开口部及与所述第一开口部连通的第二开口部；被膜，其由包含绝缘性粘接剂的材料构成，至少覆盖所述第二开口部的边缘；以及绝缘性的引导构件，其经由所述被膜粘接于所述第二开口部的边缘，将所述两个被接触体的一方向与所述探针接触的接触位置引导，并且该探针单元用基座构件固定并保持所述探针架座。

6.根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于，

所述探针单元用基座构件具有使空气从该探针单元用基座构件的外部流入的流入口，

所述探针架座具有与所述流入口连通且使从所述流入口流入的空气流动的流路。

7.根据权利要求5或6所述的探针单元，其特征在于，

所述探针架座具备：

架座部，其由绝缘性材料构成，保持所述多个探针；

框架部，其由导电性材料构成，具有能够嵌合所述架座部的中空部。