[发明专利]多光束曝光扫描方法和设备，以及用于制造印刷版的方法

权利要求书

1.一种通过利用多个光束同时地照射对象物而对相同扫描线进行多次曝光和扫描以雕刻所述对象物的表面的多光束曝光扫描方法，所述方法包括：

利用第一光束组形成第一形状的第一曝光扫描过程，所述第一形状限定将在所述对象物的曝光表面上保留的目标平坦形状和围绕所述目标平坦形状的倾斜部的轮廓形状；以及

通过利用第二光束组曝光和扫描与在所述第一曝光扫描过程中曝光和扫描的扫描线相同的扫描线，从而形成第二形状的第二曝光扫描过程，所述第二形状限定所述目标平坦形状和围绕所述目标平坦形状的倾斜部的最终形状。

2.一种通过利用多个光束同时地照射对象物而对相同扫描线进行多次曝光和扫描以雕刻所述对象物的表面的多光束曝光扫描方法，所述方法包括：

第一曝光扫描过程，用于在将在所述对象物的曝光表面上保留的目标平坦形状的边缘部中，利用第一光束组形成沿着第一方向和不同于所述第一方向的第二方向中的一个方向的第一边缘部；以及

第二曝光扫描过程，用于在所述第一曝光扫描过程之后，利用第二光束组形成沿着不同于所述第一方向和所述第二方向中的所述一个方向的另一个方向的第二边缘部。

3.一种通过利用多个光束同时地照射对象物而对相同扫描线进行多次曝光和扫描以雕刻所述对象物的表面的多光束曝光扫描方法，所述方法包括：

第一曝光扫描过程，用于利用第一光束组绘制和雕刻将在所述对象物的曝光表面上保留的目标平坦形状的边缘部的线图，从而仅仅形成所述边缘部；以及

第二曝光扫描过程，用于在所述第一曝光扫描过程之后，通过利用第二光束组曝光和扫描所述线图的外侧区域而形成围绕所述目标平坦形状的倾斜部。

4.一种通过利用多个光束同时地照射对象物而对相同扫描线进行多次曝光和扫描以雕刻所述对象物的表面的多光束曝光扫描方法，其特征在于

当将在所述对象物的曝光表面上保留的目标平坦形状区域和所述目标平坦形状区域的周边区域被设为第一区域，并且所述第一区域外侧的区域被设为第二区域时，

所述第一区域经受交错曝光，在所述交错曝光中使用具有被设为扫描线间隔的N倍(N是二或者更大的整数)的相邻光束间隔的光束组，并且在所述交错曝光中在使得待被曝光的扫描线是不同的情况下，通过执行扫描多次而顺次地曝光在曝光的扫描线之间的未曝光扫描线，并且

所述第二区域经受非交错曝光，所述非交错曝光利用具有等于扫描线间隔的相邻光束间隔的光束组来执行雕刻。

5.根据权利要求1的多光束曝光扫描方法，进一步包括：

第三曝光扫描过程，用于在将在所述对象物的曝光表面上保留的所述目标平坦形状的边缘部中，利用第三光束组形成沿着第一方向和不同于所述第一方向的第二方向中的一个方向的第一边缘部；以及

第四曝光扫描过程，用于在所述第三曝光扫描过程之后，利用第四光束组形成沿着不同于所述第一方向和所述第二方向中的所述一个方向的另一个方向的第二边缘部。

6.根据权利要求1、2和5之一的多光束曝光扫描方法，进一步包括：

第五曝光扫描过程，用于利用第五光束组来绘制和雕刻将在所述对象物的曝光表面上保留的所述目标平坦形状的边缘部的线图，从而仅仅形成所述边缘部；以及

第六曝光扫描过程，用于在所述第五曝光扫描过程之后，利用第六光束组曝光和扫描所述线图的外侧区域，以形成围绕所述目标平坦形状的倾斜部。

7.根据权利要求1、2、3、5和6之一的多光束曝光扫描方法，其特征在于

当将在所述对象物的曝光表面上保留的所述目标平坦形状区域和所述目标平坦形状区域的周边区域被设为第一区域，并且所述第一区域外侧的区域被设为第二区域时，

所述第一区域经受交错曝光，在所述交错曝光中使用具有被设为扫描线间隔的N倍(N是二或者更大的整数)的相邻光束间隔的光束组，并且在所述交错曝光中在使得待被曝光的扫描线是不同的情况下，通过执行扫描多次而顺次地曝光在曝光的扫描线之间的未曝光扫描线，并且

所述第二区域经受非交错曝光，所述非交错曝光利用具有等于扫描线间隔的相邻光束间隔的光束组来执行雕刻。