[发明专利]光固化性组合物及表面具有微细图案的成形体的制造方法无效
申请号: | 200980149004.3 | 申请日: | 2009-11-30 |
公开(公告)号: | CN102239197A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 川口泰秀 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | C08F290/06 | 分类号: | C08F290/06;B29C59/02;C08G18/67;H01L21/027 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘多益 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光固化 组合 表面 具有 微细 图案 成形 制造 方法 | ||
1.光固化性组合物,其特征在于,包含:
化合物(A),该化合物(A)具有2个以上的氨基甲酸酯键,具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基,且质均分子量小于2000,且25℃下的粘度在20Pa·s以下;
化合物(B),该化合物(B)具有氟原子,且具有1个以上的碳-碳不饱和双键,该化合物(B)不为化合物(A);
化合物(C),该化合物(C)具有1个(甲基)丙烯酰氧基,该化合物(C)不为化合物(B);
光聚合引发剂(D);
含氟表面活性剂(E);
化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)、光聚合引发剂(D)和含氟表面活性剂(E)的总量100质量%中,化合物(A)为10~50质量%,化合物(B)为5~35质量%,化合物(C)为15~75质量%,光聚合引发剂(D)为1~12质量%,化合物(E)为0.1~5质量%。
2.如权利要求1所述的光固化性组合物,其特征在于,所述化合物(A)是选自下式(A1)表示的化合物和下式(A3)表示的化合物的1种以上;
(CH2=CR-COO-(X-O)s-CONH)k-Q…(A1)
式中的符号表示以下的含义:
R、R31、R32、R33:分别独立地为氢原子或甲基;
X:碳数2~10的亚烷基;
s:1~100的整数;
k:2~4的整数;
Q:k价的基团。
3.如权利要求1或2所述的光固化性组合物,其特征在于,实质上不含溶剂。
4.如权利要求1~3中任一项所述的光固化性组合物,其特征在于,还包含相对于化合物(A)、化合物(B)、化合物(C)、光聚合引发剂(D)和含氟表面活性剂(E)的总量100质量份在40质量份以下的化合物(F),该化合物(F)具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基,该化合物(F)不为化合物(A)和化合物(B)。
5.如权利要求1~4中任一项所述的光固化性组合物,其特征在于,25℃下的粘度为30~500mPa·s。
6.表面具有微细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括:
使权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物与表面具有所述微细图案的反转图案的模具的具有该反转图案的表面接触的工序;
在所述光固化性组合物与所述模具的表面相接触的状态下对所述光固化性组合物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序;
将所述模具与所述固化物分离,得到表面具有微细图案的成形体的工序。
7.表面具有微细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括:
将权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物配置于基板表面的工序;
将表面具有所述微细图案的反转图案的模具按压于所述光固化性组合物,使该模具的反转图案与所述光固化性组合物接触的工序;
在将所述模具按压于所述光固化性组合物的状态下对所述光固化性组合物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序;
将所述模具或所述基板及所述模具与所述固化物分离,得到表面具有微细图案的成形体的工序。
8.表面具有微细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括:
将权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物配置于表面具有所述微细图案的反转图案的模具的具有该反转图案的表面的工序;
将基板按压于所述光固化性组合物的工序;
在将所述基板按压于所述光固化性组合物的状态下对所述光固化性组合物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序;
将所述模具或所述基板及所述模具与所述固化物分离,得到表面具有微细图案的成形体的工序。
9.表面具有微细图案的成形体的制造方法,其特征在于,包括:
使基板和表面具有所述微细图案的反转图案的模具以该模具的反转图案位于所述基板侧的方式接近或接触的工序;
将权利要求1~5中任一项所述的光固化性组合物填充至所述基板和所述模具之间的工序;
在所述基板与所述模具相接近或相接触的状态下对所述光固化性组合物照射光,使所述光固化性组合物固化而形成固化物的工序;
将所述模具或所述基板及所述模具与所述固化物分离,得到表面具有微细图案的成形体的工序。
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