[发明专利]两方向移动台

权利要求书

1.一种两方向移动台，沿在同一平面内互相垂直相交的第一方向及第二方向的二个方向移动，该两方向移动台包括：

第一台，沿第一方向被导向，由第一电机沿第一方向驱动；

第二台，由设在上述第一台上面的第二方向导向件沿第二方向导向，与上述第一台一起沿第一方向被驱动，同时，也由第二电机沿第二方向驱动；以及

可动件，包括可动臂和环状驱动线圈，所述可动臂为一端固定在上述第二台，沿着第二方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面的中空体，在各短边侧面设有沿第二方向延伸的开口，与上述第二台一起，沿第一及第二方向移动，所述驱动线圈插入上述可动臂的上述各开口，安装在上述可动臂，其局部从上述可动臂的上述各开口朝着上述可动臂的宽度方向突出。

2.根据权利要求1所述的两方向移动台，其特征在于：

上述可动件的上述可动臂的上述各开口的沿第二方向的长度比上述驱动线圈的与插入方向垂直方向的外形长度长；

插入方向的上述驱动线圈的内径的长度比上述可动臂的宽度长；

上述驱动线圈的内侧空间和上述可动臂外侧空间连通。

3.根据权利要求1所述的两方向移动台，其特征在于：

包括直接将空气喷向上述可动件的上述驱动线圈的喷嘴。

4.根据权利要求2所述的两方向移动台，其特征在于：

包括直接将空气喷向上述可动件的上述驱动线圈的喷嘴。

5.根据权利要求1所述的两方向移动台，其特征在于：

上述第一台为X台，上述第二台为Y台。