[发明专利]两方向移动台

说明书

技术领域

本发明涉及用于焊接装置(bonding device)的两方向移动台的结构。

背景技术

在引线焊接装置等焊接装置中，使用XY台，作为使得半导体装置等的焊接对象沿水平方向互相垂直相交的两方向即X方向及Y方向移动的两方向移动台。XY台包括下部台及上部台，所述下部台沿X方向被导向，通过X方向电机沿X方向移动，所述上部台由下部台上面的导向件沿Y方向导向，通过Y方向电机沿Y方向移动。上部台载置在沿X方向移动的下部台上，沿Y方向移动，因此，构成为能沿X、Y方向移动自如。

在这种XY台中，为了使得定位高精度化，提出将Y方向电机的可动件与上部台连接固定(例如，参照专利文献1)。

[专利文献1]日本特开2002-329772号公报

但是，在专利文献1记载的以往技术的XY台中，Y方向电机的可动件与上部台连接固定，与上部台一起沿X方向移动。因此，使得下部台沿X方向移动的X方向电机，必须使得下部台、上部台、以及Y方向电机的可动件沿X方向移动，可是，Y方向电机的可动件的重量大场合，由于施加在X方向电机的载荷变大，加快下部台移动速度很困难，存在不能使得焊接装置高速化的问题。

另外，在专利文献1记载的以往技术的XY台中，Y方向电机的可动件安装为从上部台的上面附近向着Y方向突出，因此，当沿Y方向驱动上部台时，Y方向电机的可动件从上部台受到Y方向的反力以及弯矩的反力，可动件因该弯矩发生振动，焊接时因该振动引起毛细管的推压载荷变化，存在焊接质量降低问题。Y方向电机的可动件的重量大场合，上部台往复动作包含的频率成份接近可动件的固有振动频率，因此，振动变得更大，存在焊接质量降低问题。并且，为了避免焊接质量降低，不能使得XY台的动作速度高速化，存在不能使得焊接装置高速化的问题。

另外，专利文献1记载的Y方向电机的可动件将线圈安装在平板上，因此，当电流流过线圈时，线圈产生的热量扩散大多不充分，引起线圈温度上升，从而导致电阻增加，引起输出降低，或因线圈周边部件的热膨胀引起热位移，导致焊接精度低下，因此，难以流过大电流，存在使得Y方向可动件高速移动很困难的问题。

发明内容

本发明的目的在于，使得焊接装置高速化。

为了解决上述课题的手段如下。

本发明的两方向移动台，沿在同一平面内互相垂直相交的第一方向及第二方向的二个方向移动，该两方向移动台包括：

第一台，沿第一方向被导向，由第一电机沿第一方向驱动；

第二台，由设在上述第一台上面的第二方向导向件沿第二方向导向，与上述第一台一起沿第一方向被驱动，同时，也由第二电机沿第二方向驱动；以及

可动件(mover)，包括可动臂和环状驱动线圈，所述可动臂一端固定在上述第二台，沿着第二方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面的中空体，在各短边侧面设有沿第二方向延伸的开口，与上述第二台一起，沿第一及第二方向移动，所述驱动线圈插入上述可动臂的上述各开口，安装在上述可动臂，其局部从上述可动臂的上述各开口朝着上述可动臂的宽度方向突出。

在本发明的两方向移动台中，合适的是，上述可动件的上述可动臂的上述各开口的沿第二方向的长度比上述驱动线圈的与插入方向垂直方向的外形长度长，插入方向的上述驱动线圈的内径的长度比上述可动臂的宽度长，上述驱动线圈的内侧空间和上述可动臂外侧空间连通。

又，在本发明的两方向移动台中，合适的是，包括直接将空气喷向上述可动件的上述驱动线圈的喷嘴。

又，在本发明的两方向移动台中，合适的是，上述第一台为X台，上述第二台为Y台。

下面说明本发明的效果。

本发明具有能使得焊接装置高速化的效果。

附图说明

图1是本发明实施形态的XY台的平面图。

图2是本发明实施形态的XY台的正面图。

图3是设有本发明实施形态的Y方向可动件的XY台的侧面图。

图4是表示本发明实施形态的XY台的Y方向可动件的立体图。

图5是本发明另一实施形态的XY台的平面图。

符号说明如下：

10  XY台

11  架台

12  台保持台

13  下部台

14，37  X方向导轨

16，36，46  支架

17  Y电机保持台

18  下部台传感器

19  上部台传感器

21  上部台

22，47  Y方向导轨