[发明专利]卷轴装置和利用其的薄膜装载装置无效
| 申请号： | 200980154199.0 | 申请日： | 2009-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102272028A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 柳基雄;李相律 | 申请（专利权）人： | SEC株式会社 |
| 主分类号： | B65H18/04 | 分类号： | B65H18/04;B65H18/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 金光军;韩明星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卷轴 装置 利用 薄膜 装载 | ||
【权利要求书】：
1.一种卷轴装置，其特征在于包括：
卷绕有薄膜的供给卷轴；
卷收卷轴，其与所述供给卷轴布置在同一轴线上，用于卷绕从所述薄膜剥离的保护薄膜；
驱动单元，分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴。
2.如权利要求1所述的卷轴装置，其特征在于，所述保护薄膜沿螺旋方向从所述供给卷轴移送到所述卷收卷轴，并由设置在所述供给卷轴的周边的多个导向辊引导。
3.如权利要求1所述的卷轴装置，其特征在于，所述驱动单元根据卷绕在所述供给卷轴上的所述薄膜和卷绕在卷收卷轴上的保护薄膜的卷绕量，以不同速度驱动所述供给卷轴和卷收卷轴。
4.如权利要求3所述的卷轴装置，其特征在于，所述驱动单元包括：供给卷轴驱动电机；用于将所述供给卷轴驱动电机的驱动力传至所述供给卷轴的第一驱动轴；卷收卷轴驱动电机；用于将所述卷收卷轴驱动电机的驱动力传至所述卷收卷轴，并与所述第一驱动轴布置为同心轴的第二驱动轴。
5.如权利要求4所述的卷轴装置，其特征在于，所述第一驱动轴构成为中空轴，所述第二驱动轴被插入到所述第一驱动轴内。
6.一种薄膜装载装置，其特征在于，包括壳体和权利要求1至5中任意一项所述的卷轴装置，所述壳体上布置至少两个所述卷轴装置。
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