[发明专利]气体激光振荡器

权利要求书

1.一种气体激光振荡器，具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该振荡器箱体由金属材料构成；该一对光学基台设置在上述振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的至少3根支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接上述一对光学基台与上述振荡器箱体之间，其特征在于：

在设上述光共振器的光轴方向为X轴，设与上述光轴方向垂直的高度方向为Z轴，设与上述X轴及Z轴垂直的方向为Y轴的场合下，

上述振荡器箱体具有主体部和盖部，

该主体部由框状的金属材料构成，具有在X轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接上述侧板的Z轴方向的上端之间与下端之间的在X轴方向延伸的上板及下板；

该盖部由金属材料构成，具有外壁和侧壁，并将上述主体部的各个开口闭塞，该外壁在X轴方向延伸并且与X轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到上述外壁的X轴方向的两端部，

形成圆弧状的上述外壁，以便当由固定构件将上述盖部固定于上述主体部时，在上述盖部的与上述主体部的连接部产生朝上述振荡器箱体的外侧的Z轴方向的力。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于：

在上述盖部的与X轴垂直的截面中，在设圆弧状的上述外壁的曲率半径为R，设弦的长度为H的场合下，

上述外壁满足R＞H/2。

3.根据权利要求2所述的气体激光振荡器，其特征在于：

在设上述主体部的宽度为W的场合下，上述外壁满足

R＝H/(2·sin(arcTan(H/W))。

4.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于：还具有结构构件，该结构构件连接上述主体部的上述侧板之间，并且不与上述上板和上述下板接触，

设于上述振荡器箱体内的放电电极以与上述上板、上述下板及上述盖部都不接触的方式固定于上述结构构件。

5.根据权利要求4所述的气体激光振荡器，其特征在于：上述结构构件为由中空的金属材料构成的方型材，

上述支承杆包括配置在上述振荡器箱体的外侧的上部的2根上部支承杆和以贯通上述主体部的中心附近的方式配置的1根下部支承杆，

上述下部支承杆以贯通上述方型材的内部的方式配置。

6.根据权利要求4所述的气体激光振荡器，其特征在于：设于上述振荡器箱体内的送风器、热交换器及气体管道以与上述上板、上述下板及上述盖部都不接触的方式固定于上述结构构件。

7.根据权利要求4所述的气体激光振荡器，其特征在于：被固定于上述振荡器箱体的部件被固定于上述侧板和/或上述结构构件。