[发明专利]气体激光振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及将激光介质气体封入到密闭结构的振荡器箱体内进行激光振荡的气体激光振荡器。

背景技术

在以往的正交激励型气体激光振荡器中，具有封入了CO₂气体等激光介质气体的密闭结构的振荡器箱体，在振荡器箱体内具有激光介质气体放电激励用的放电电极、冷却激光介质气体的热交换器、及使激光介质气体循环的送风器。另外，在振荡器箱体的两端配置有构成气体激光振荡器的反射镜光学系统。在CO₂气体激光器等气体激光器中的连续振荡中，为了将放出激光的气体分子激励(泵激)到受激发射所需要的能级，一般使用由放电时的电子碰撞激励的放电激励。在该场合下，为了获得稳定的放电，需要使振荡器箱体内部为30～60Torr的真空状态，所以，气体激光振荡器的振荡器箱体需要具有能够保持真空状态的气密性能。

另外，由于需要定期地对配置在振荡器箱体的内部的放电电极、热交换器、送风器、及反射镜光学系统等进行维修，所以，最好维修作业者能够容易地从振荡器箱体的外部接触到它们。为此，一般在振荡器箱体上设有宽的开口部，并安装有用于闭塞该开口部的能够拆卸的盖构件。

从以上可以看出，最好气体激光振荡器的盖构件能够经得住使振荡器箱体的内部成为真空状态时的负荷，保持能够保持真空状态的气密性能，而且，以能够容易地维修振荡器箱体的内部设备的方式扩大开口部面积。另外，激光振荡器主要用于激光加工，为了提高加工能力，高输出化正在发展。为此，导入长的放电电极和大型热交换器及大型气体管道，由此使箱体特别是光轴方向长，高度宽度都大型化。另外，由于大型化使得表面积增大，由此使得在箱体及盖构件作用大的大气压力，为此，要求高的强度和刚性。

因此，以往，提出了这样的结构的激光振荡器(例如参照专利文献1)，该激光振荡器具有：搭载放电电极及反射镜等气体激光振荡器的构成设备的长方体状的箱体；为了抑制箱体的变形而设于箱体的肋及开口部支承构件；以及以闭塞箱体的开口部的方式配置的盖构件，其中，在盖构件上形成了向箱体的内侧部或外侧部隆起的曲面部。

现有技术文献

专利文献1

专利文献1：日本特开2007-294807号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在记载于专利文献1的激光振荡器中，由于箱体的结构具有长方体状，所以，随着激光振荡器的大型化，在箱体的上下的面作用由大气压力产生的弯曲应力，箱体的上下的面的中央部附近凹陷，产生大的弯曲应力。为此，需要使构成箱体的上下的面的板构件变厚，另外，如上述那样还需要加强用的肋。结果，存在激光振荡器的制造成本增大的问题。

本发明就是鉴于上述情况而作出的，其目的在于提供一种气体激光振荡器，在需要大型且重厚的压力容器的高输出的气体激光振荡器中，与以往相比，能够实现大幅度的轻质化，而且能够使制造成本降低。

用于解决问题的手段

为了达到上述目的，本发明的气体激光振荡器具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该振荡器箱体由金属材料构成；该一对光学基台设置在上述振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的至少3根支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接上述一对光学基台与上述振荡器箱体之间，其特征在于：在设上述光共振器的光轴方向为X轴，设与上述光轴方向垂直的高度方向为Z轴，设与上述X轴及Z轴垂直的方向为Y轴的场合下，上述振荡器箱体具有主体部和盖部，该主体部由框状的金属材料构成，具有在X轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接上述侧板的Z轴方向的上端之间与下端之间的在X轴方向延伸的上板及下板；该盖部由金属材料构成，并具有外壁和侧壁，将上述主体部的各个开口闭塞，该外壁在X轴方向延伸并且与X轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到上述外壁的X轴方向的两端部，形成圆弧状的上述外壁，以便当由固定构件将上述盖部固定于上述主体部时，在上述盖部的与上述主体部的连接部产生Z轴方向的朝上述振荡器箱体的外侧的力。

发明效果

按照本发明，形成圆弧状的外壁，以便当由固定构件将盖部固定于主体部时在盖部的与主体部的连接部产生朝振荡器箱体的外侧的Z轴方向的力，所以，当在振荡器箱体作用了大气压力时，从盖部在上板和下板作用将上板和下板往高压侧推回的力。结果，产生于上板和下板的弯曲应力减轻，能够减小构成振荡器箱体的上板和下板的厚度，具有能够实现轻质化、低成本化的效果。

附图说明