[发明专利]具有无限驱动介质的搬送系统及搬送方法有效
申请号: | 200980158648.9 | 申请日: | 2009-06-02 |
公开(公告)号: | CN102388444A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 木股友也 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 庞乃媛;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 无限 驱动 介质 系统 方法 | ||
1.一种搬送系统具有:
无限驱动介质,进行环行移动;
多个搬运器,被安装于所述无限驱动介质,保持物品并进行搬送;
多个站,沿着所述无限驱动介质而设置;以及
移动量传感器,测定所述无限驱动介质的移动量,
所述站的每一个具有:
机械手,与所述搬运器之间交接物品;
驱动部,使所述机械手在所述无限驱动介质的环行方向和上下方向上移动;
第一搬运器传感器,沿着所述无限驱动介质的环行方向,在机械手的上游侧的规定位置检测所述搬运器;
第二搬运器传感器,在所述第一搬运器传感器的下游侧检测搬运器;以及
信号处理部,基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、由所述移动量传感器测定出的移动量,通过所述驱动部起动机械手,并且在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时,将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的由所述移动量传感器测定出的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较,在它们之间具有容许值以上的误差的情况下,通过所述驱动部使机械手的动作停止。
2.根据权利要求1记载的搬送系统,其中,
所述第一搬运器传感器在所述机械手的移动开始位置的下游侧的规定位置检测所述搬运器,并且在所述第一搬运器传感器检测出搬运器之后、所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器之前,所述机械手被起动。
3.根据权利要求2记载的搬送系统,其中,
还设置有第二移动量传感器,测定从所述机械手的移动开始位置起的移动量,
所述信号处理部在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时,将该第二移动量传感器测定出的移动量与规定的移动量进行比较,在存在容许值以上的误差时,通过所述驱动部使机械手的动作停止。
4.根据权利要求3记载的搬送系统,其中,
所述驱动部驱动所述机械手,以使得所述搬运器和所述机械手等速且同时通过所述第二搬运器传感器。
5.一种搬送方法,在环行移动的无限驱动介质上,安装有保持并输送物品的多个搬运器,并且
测定所述无限驱动介质的移动量,
在沿着所述无限驱动介质的多个站上,设置与所述搬运器之间交接物品的机械手,
沿着所述无限驱动介质的环行方向、在机械手的上游侧的规定位置,通过第一搬运器传感器检测所述搬运器,
在所述第一搬运器传感器的下游侧,通过第二搬运器传感器检测搬运器,
基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、无限驱动介质的移动量,通过所述驱动部起动机械手,
在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时,将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的无限驱动介质的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较,在它们之间具有容许值以上的误差的情况下,通过所述驱动部使机械手的动作停止。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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