[发明专利]具有无限驱动介质的搬送系统及搬送方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过安装在无限驱动介质上的搬运器来搬送半导体基板等的搬送系统，特别涉及检测出用于保持半导体基板等物品的搬运器的位置并起动站的机械手。

背景技术

在专利文献1(US7234584)中，在环形带上安装多个搬运器并使之环行。搬运器具有用于支撑半导体存储盒的凸缘等的支承面，通过站的机械手将存储盒装载或卸载在搬运器上。另外，设置用于检测搬运器的传感器和用于测定传送带的移动量的编码器，来控制机械手。在专利文献1中，通过传感器检测到搬运器后立即起动机械手，所以装载和卸载都在同一时刻起动机械手。但是，若检测后立即起动机械手，则信号处理上的延迟成为控制延迟而显现出来。

现有技术文献(专利文献)

专利文献1：US7234584

发明内容

发明要解决的课题

本发明的课题在于，在搬运器与机械手之间交接物品之前，校验搬运器的动作是否正常。

本发明的另一课题在于，在即将交接物品之前，校验搬运器的动作。

本发明的另外一个课题在于，在即将交接物品之前，校验机械手的动作是否正常。

用于解决课题的手段

本发明的搬送系统具有：

无限驱动介质，进行环行移动；

多个搬运器，被安装于所述无限驱动介质，保持物品并进行搬送；

多个站，沿着所述无限驱动介质而设置；以及

移动量传感器，测定所述无限驱动介质的移动量，

所述站的每一个具有：

机械手，与所述搬运器之间交接物品；

驱动部，使所述机械手在所述无限驱动介质的环行方向和上下方向上移动；

第一搬运器传感器，沿着所述无限驱动介质的环行方向，在机械手的上游侧的规定位置检测所述搬运器；

第二搬运器传感器，在所述第一搬运器传感器的下游侧检测搬运器；以及

信号处理部，基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、由所述移动量传感器测定出的移动量，通过所述驱动部起动机械手，并且在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时，将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的由所述移动量传感器测定出的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较，在它们之间具有容许值以上的误差的情况下，通过所述驱动部使机械手的动作停止。

移动量传感器例如设置在各站上，但也可以在接近的多个站中的任一站上设置移动量传感器，在接近了的多个站间共用移动量传感器。或者，还可以在相邻的多个站的中间设置移动量传感器，而在左右的站间共用移动量传感器。

在本发明的搬送方法中，

在环行移动的无限驱动介质上，安装有保持并输送物品的多个搬运器，并且

测定所述无限驱动介质的移动量，

在沿着所述无限驱动介质的多个站上，设置与所述搬运器之间交接物品的机械手，

沿着所述无限驱动介质的环行方向、在机械手的上游侧的规定位置，通过第一搬运器传感器检测所述搬运器，

在所述第一搬运器传感器的下游侧，通过第二搬运器传感器检测搬运器，

基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、无限驱动介质的移动量，通过所述驱动部起动机械手，

在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时，将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的无限驱动介质的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较，在它们之间具有容许值以上的误差的情况下，通过所述驱动部使机械手的动作停止。。

优选地，所述第一搬运器传感器在所述机械手的移动开始位置(始位置)的下游侧的规定位置检测所述搬运器，并且所述第一搬运器传感器检测出搬运器之后，在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器之前，起动所述机械手。

更优选地，还设置有第二移动量传感器，测定从所述机械手的移动开始位置起的移动量，

所述信号处理部，在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时，将该第二移动量传感器测定出的移动量与规定的移动量进行比较，在存在容许值以上的误差时，通过所述驱动部使机械手的动作停止。

特别优选地，所述驱动部驱动所述机械手，使得所述搬运器和所述机械手等速且同时通过所述第二搬运器传感器。

在本说明书中，与搬送系统有关的记载也原样地适于搬送方法。

发明的效果