[发明专利]电容式触摸面板

权利要求书

1.一种用于激光刻绘沉积在透明衬底相对表面上的两层透明导电层的方法，包括：

1.通过一个或多个透镜，将激光束指向在所述两层中第一层的暴露表面上的或与该暴露表面紧密相邻的第一焦点；

2.在与所述激光束的轴垂直的平面中的两个轴向上，启动所述激光束与衬底之间的相对运动，从而在所述两层中第一层上刻绘电极图案；

3.重新定位所述一个或多个透镜，并且将所述激光束聚焦到在所述两层中第二层的暴露表面上的或与该暴露表面紧密相邻的第二焦点；

4.在与所述激光束的轴垂直的平面中的两个轴向上，启动所述激光束与衬底之间的相对运动，从而在所述两层中第二层上刻绘电极图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤3包括：沿着在所述激光束出射的点和所述衬底之间的激光束的轴设置单个透镜，该单个透镜沿所述激光束的轴移动，从而调整所述焦点的位置。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤3包括：提供两个或多个透镜，并且调整两个或多个透镜的间距以调整所述焦点的位置。

4.根据权利要求1所述的方法，包括：定位一个或多个透镜以在所述激光束出射之前阻断该激光束，并且重新定位所述一个或多个透镜以改变所述光束的发散度，从而相对于所述衬底改变出射光束的焦点。

5.根据前述任意一项权利要求所述的方法，其中，步骤2和步骤4中的电极图案是不同的。

6.根据前述任意一项权利要求所述的方法，其中，步骤2和步骤4的相对运动通过所述衬底相对于静止的激光束的运动来实现。

7.根据权利要求1到5中任意一项所述的方法，其中，步骤2和步骤4的相对运动通过所述激光束相对于静止的衬底的运动来实现。

8.一种用于激光刻绘沉积在透明衬底相对表面上的两层透明导电层的装置，包括：

激光束，

配置并定位为用于在第一位置和第二位置之间调整所述激光束的焦点的一个或多个透镜，

用于在介于第一和第二位置之间的平面上保持衬底的设备，和

用于在所述平面内或与该平面平行的平面内在两个维度上移动所述衬底和激光束的相对位置的设备，

其中，在使用时，所述第一位置和第二位置与所述两个透明导电层的暴露表面重合或相邻。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，在所述激光束出射的点和所述焦点之间的激光束的轴上设置单个透镜，并配置为沿该轴移动。

10.根据权利要求8所述的装置，其中，在所述激光束出射的点和所述焦点之间的激光束的轴上设置多个透镜，并配置为其间距沿该轴可调。

11.根据权利要求8所述的装置，其中，通过在所述激光束出射前在光束中重新定位一个或多个透镜来调节所述激光束的发散度，继而调节所述焦点的位置。

12.根据权利要求9或10所述的装置，包括放置在望远镜中的两个透镜。

13.根据权利要求8-12中任意一项所述的装置，其中，所述激光束定向通过双轴扫描单元。

14.根据权利要求13所述的装置，其中，所述扫描单元配置为在与所刻蚀的衬底平行的平面中沿两个正交轴向移动。

15.一种基本上如附图6A和6B或7A和7B所描述的方法。

16.一种基本上如附图6A和6B、7A和7B、8A和8B或9A和9B所描述的装置。

17.一种根据权利要求1到7中任意一项所述的方法制造的触摸屏面板。