[发明专利]驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如使反射镜等被驱动物旋转的MEMS扫描仪等的驱动装置的技术领域。

背景技术

例如，在显示器、打印装置、精密测定、精密加工、信息记录重放等多种技术领域中，对通过半导体工程技术制造的MEMS（Micro Electro Mechanical System/微机电系统）设备的研究正广泛开展。作为该MEMS设备，例如在将从光源入射的光对规定的画面区域扫描并使图像呈现的显示器领域、或者在对规定的画面区域扫描光线以接受反射的光并读入图像信息的扫描领域中，微小构造的反射镜装置（光扫描仪或MEMS扫描仪）受到关注。

一般情况下，人们知道反射镜驱动装置的构成具有：作为基底的固定的主体；可围绕规定的中心轴旋转的反射镜；以及连接或接合主体和反射镜的扭杆（扭转部件）（参照专利文献1）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2007－522529号公报

发明内容

发明要解决的问题

在具有该构成的反射镜驱动装置中，使用线圈和磁铁来驱动反射镜的构成较为普遍。在该构成中，作为一例，例如包括在反射镜上直接粘贴线圈的构成。这种情况下，通过向线圈流入电流而产生的磁场与磁铁的磁场间的相互作用，对反射镜施加旋转方向的力，结果使反射镜旋转。并且，在上述专利文献1中，线圈和磁铁采用如下配置的构成：使扭杆产生扭转方向（换言之，反射镜的旋转轴方向）的应变。此时，因通过向线圈流入电流而产生的磁场和磁铁的磁场之间的相互作用，扭杆向扭转方向应变，扭杆的扭转方向的应变使反射镜旋转。

针对该现有的反射镜驱动装置，本发明的课题是，提供一种例如通过直接产生反射镜的旋转的力、或直接产生扭杆的扭转方向的应变的力以外的力（即作用于反射镜的旋转方向的力以外的力）的作用，可驱动反射镜（或者旋转的被驱动物）的驱动装置（即MEMS扫描仪）。

用于解决问题的手段

为解决上述课题，驱动装置具有：基底部；能够旋转的被驱动部；弹性部，连接上述基底部和上述被驱动部，且具有使上述被驱动部以沿着一个方向的轴为中心轴旋转的弹性；施加部，将用于使上述被驱动部旋转的微振动施加到上述基底部，以使上述被驱动部以由上述被驱动部及上述弹性部确定的共振频率、以沿着上述一个方向的轴为中心轴共振的同时旋转。

本发明的作用及效果通过以下说明的实施方式可得以明确。

附图说明

图1是概念性表示第1实施例涉及的驱动装置的构成的俯视图。

图2是概念性表示第1实施例涉及的驱动装置的动作方式的俯视图。

图3是用于说明源自驱动源部施加的微振动的无方向性的力的俯视图。

图4是概念性表示第2实施例涉及的驱动装置的构成的俯视图。

图5是概念性表示第2实施例涉及的驱动装置的动作方式的俯视图。

图6是用于说明源自驱动源部施加的微振动的无方向性的力的俯视图。

图7是实验结果的图表。

图8是概念性表示第3实施例涉及的驱动装置的构成的一例的俯视图。

图9是概念性表示第3实施例涉及的驱动装置的构成的其他例子的俯视图。

图10是概念性表示第4实施例涉及的驱动装置的构成的俯视图。

图11是概念性表示第4实施例涉及的驱动装置的其他构成的俯视图。

具体实施方式

以下作为实施发明的最佳方式，依次说明驱动装置相关的实施方式。

本实施方式的驱动装置具有：基底部；能够旋转的被驱动部；弹性部，连接上述基底部和上述被驱动部，且具有使上述被驱动部以沿着一个方向的轴为中心轴旋转的弹性；施加部，将用于使上述被驱动部旋转的微振动施加到上述基底部，以使上述被驱动部以由上述被驱动部及上述弹性部确定的共振频率、以沿着上述一个方向的轴为中心轴共振的同时旋转。

根据本实施方式的驱动装置，作为基础的基底部和能够旋转地配置的被驱动部（例如下述反射镜等），通过具有弹性的弹性部（例如下述扭杆等）直接或间接连接。被驱动部通过弹性部的弹性（例如可使被驱动部以沿着一个方向的轴为中心轴旋转的弹性），以沿着一个方向的轴为中心轴被旋转驱动。