[发明专利]检查方法、检查装置以及检查用程序

说明书

技术领域

本发明涉及一种检查方法、检查装置以及检查用程序，特别是涉及通过 生成X射线断层图像来对检查对象物进行检查的检查方法、检查装置以及检 查用程序。

背景技术

作为以安装了元件的基板为对象，利用X射线来生成断层图像，并使用 所生成的图像来检查元件侧电极与基板的接合状态、锡焊电极的内部结构等 的方法的一个例子，有X射线CT（Computed Tomography：计算机断层摄影 法）。

在专利文献1（日本特开2006-292465号公报）中，公开了使用X射线 CT来检查基板的技术的一个例子。

参照图18A，在专利文献1中公开了使成为检查对象的基板920上的凸 块（bump）移动至X射线检测器950的视场内，从而取得X射线图像的技 术。X射线检测器950能够在将从X射线发生器900的焦点F向铅垂方向延 伸的轴A作为中心的半径R的圆周上旋转。α是X射线检测器950相对于轴 A的倾斜角度。在此，X射线检测器950进行旋转动作，并且基板920在XY 平面内移动以使作为检查对象的凸块包含在旋转后的X射线检测器950的视 场内。在将基板920在Z轴方向上的位置固定的状态下，移动X射线检测器 950的视场区域FOV，使X射线检测器950在视场区域FOV的多个状态下 拍摄X射线图像。然后，一边改变Z轴方向上的位置，一边对XY平面内的 多个视场区域FOV拍摄X射线图像。然后，使用在Z轴方向上得到的关于 多个视场区域FOV的每一个视场区域的X射线图像，进行三维图像的重建 运算。

在这样的X射线CT用拍摄中，如图18B所示那样，在XY平面内，X 射线检测器950的视场区域FOV如以点O为中心旋转的FOV1～FOV4那样 发生变化，上述点O是X射线发生器900的焦点F的铅垂方向上的对应点。

此外，作为基板的断层图像的生成方法，有通过X射线照相组合 （Tomosynthesis）来生成基板的断层图像的方法，该方法能够比X射线CT 更简单地生成基板的断层图像。例如，在专利文献2（日本特开2005-121633 号公报）中公开了通过该方法来生成断层图像的技术。在专利文献2中，如 图19所示，将X射线源900配置成使其光轴AX朝向垂直方向的上方，在 其上方配置有用于支撑作为检查对象物921的基板的XY工作台，进而在其 上方配置有用于支撑二维X射线检测器的XY工作台。在图19中，圆轨道 R1、R2分别是以X射线源900的光轴AX（虚线）为中心的圆轨道。而且， 使各XY工作台沿着圆轨道R1、R2移动，并在各规定角度处停止下来进行 拍摄。然后，合成由各次拍摄生成的图像（P1～P4），从而生成断层图像。

如在专利文献2中所记载的那样，在X射线照相组合用拍摄中，以规定 高度的平面为对象，调整在每次拍摄时的X射线源和X射线检测器及基板的 关系，从而使该对象平面上的各构成点投影在每次图像的相同坐标上，另一 方面，使其上下的平面的各构成点在每次拍摄时投影在不同的坐标上。其结 果，在将各图像合成时，对象平面的构成点相重叠从而变得清晰，另一方面， 其它平面的构成点变得模糊。由此，能够生成对象平面的噪声得以减弱的断 层图像。

专利文献1：日本特开2006-292465号公报

专利文献2：日本特开2005-121633号公报

如果将X射线照相组合的断层图像与X射线CT图像作比较，则在精度 方面一般后者高。然而，由于X射线CT的运算复杂，所以生成断层图像所 需的时间较长。与此相对，如果利用X射线照相组合，则由于运算简单，所 以能够在相对短的时间内得到断层图像。另一方面，如果利用X射线照相组 合，则根据与被检查部位的形状、周围的结构物之间的关系，有时断层图像 会包含无法忽略的噪声成分。

鉴于这样的情况，基板的制造及检查的企业希望根据被检查部位的种类、 被检查部位的周围的状态来选择执行X射线CT或X射线照相组合。

然而，用于生成X射线CT图像的拍摄和用于生成X射线照相组合的断 层图像的拍摄，其拍摄方式并不相同。换句话说，如图20A所示，在X射线 CT图像用拍摄中，如以位置951～958所示出的那样，在每次拍摄时，控制 二维X射线检测器的姿势，使其在以X射线源900的光轴为中心的圆轨道上 旋转，并且使其也以各检测区域的中心为轴旋转。另外，图20A相当于从X 射线源的光轴方向的上方观察二维X射线检测器和X射线源的图。