[发明专利]用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置

权利要求书

1.一种用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，包括：

载物台，用于承载样品；

X射线发生装置，用于发射一次X射线；

探测器，用于探测所述样品受X射线照射时产生的荧光，获取对应的光谱信号；

其特征在于，还包括：

二次靶台，用于放置二次靶材；

联用控制装置，用于控制所述X射线发生装置使其发射的一次X射线照射所述样品或所述二次靶材，所述二次靶材受所述一次X射线照射时产生的二次X射线照射至所述样品。

2.如权利要求1所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，所述联用控制装置包括电机以及与电机连接的转动机构，由所述电机驱动所述转动机构转动，所述X射线发生装置在转动机构的驱动下转动。

3.如权利要求2所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，所述转动机构为蜗轮转动装置，该蜗轮转动装置包括蜗轮和蜗杆，由所述电机驱动蜗杆，所述蜗杆带动蜗轮转动；所述X射线发生装置设置于所述蜗轮上。

4.如权利要求3所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，还包括步进电机和滑块，所述二次靶台滑动设于所述滑块上，所述步进电机用于驱动所述二次靶台在所述滑块上滑动。

5.如权利要求4所述用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，所述联用控制装置还包括第一光电开关和第二光电开关，分别设于所述蜗轮上，X射线发生装置处于向载物台上样品发射一次X射线的位置时，第一光电开关控制所述电机停止工作，X射线发生装置处于向二次靶材发射一次X射线的位置时，第二光电开关控制所述电机停止工作。

6.如权利要求5所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，所述蜗轮转动装置的最大转动行程为45°，所述蜗轮在转动行程为0°的位置设有所述第一光电开关，在转动行程为45°的位置设有所述第二光电开关。

7.如权利要求1所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，所述放置于二次靶台上的二次靶材为多个，所述多个二次靶材的原子序数不同。

8.如权利要求1所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，还包括第一准直器，位于所述X射线发生装置与所述载物台之间，用于准直所述X射线发生装置发射的一次X射线。

9.如权利要求1所述的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，其特征在于，还包括第二准直器，位于所述二次靶台与所述载物台之间，用于准直二次靶材产生的二次X射线。

10.一种样品中元素的分析方法，其特征在于，包括：

向所述样品发射一次X射线；

探测所述样品受所述一次X射线照射时产生的荧光；

向所述样品发射二次X射线；

探测所述样品受所述二次X射线照射时产生的荧光；

根据探测到的所述样品受所述一次X射线和二次X射线照射时产生的荧光，获取对应的光谱信号并分析所述样品中的元素及含量。

11.如权利要求10所述的样品中元素的分析方法，其特征在于，所述二次X射线由二次靶材在所述一次X射线的照射下产生。