[发明专利]用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置

说明书

技术领域

本发明涉及荧光光谱仪领域，尤其涉及一种用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置。

背景技术

X射线荧光光谱仪是一种射线式分析仪器，是X射线分析仪器的一种常用形式。X射线是用高速电子轰击原子的内层电子，使之处于高激发状态，同时外层的电子跃迁到缺少电子的内层轨道；在此过程中会伴随着以电磁波形式释放的能量，这种释放能量的电磁波能量大，波长小，肉眼不可见，称之为X射线。

如果用高速电子激发产生的X射线又作为激发源(可称之为一次X射线)去轰击别的原子的内层电子，同样可产生X射线，只是这种X射线的能量较一次X射线低，波长也较长，这种射线称为二次X射线或X射线荧光、荧光X射线。X射线荧光的波长是以受激物质(待测物质)的原子序数为特征的，原子序数越大的物质波长越短。各种不同的元素都有本身的特征X射线荧光波长，这是用X射线荧光原理的X射线荧光光谱仪进行定性分析的依据；而元素受激发射出来的特征X射线荧光的强度则取决于该元素的含量，这是定量分析的依据。

X射线荧光光谱仪分为波长色散型和能量色散型。

波长色散型X射线荧光光谱仪设有分光系统，其主要部件是晶体分光器，晶体分光器的作用是通过晶体衍射现象把不同波长的X射线分开。一种特定的晶体具有一定的晶面间距，因而限定于特定的应用范围，所以目前的波长色散型X射线荧光光谱仪用具有不同晶面间距的晶体分析不同范围的元素。

能量色散型X射线荧光光谱仪利用荧光X射线具有不同能量的特点，将其分开并检测，不必使用分光晶体。能量色散型X射线荧光光谱仪的最大优点是可以同时测定样品中几乎所有的元素，因此分析速度快。另一方面，由于能量色散型X射线荧光光谱仪对X射线的检测率比波长色散型X射线荧光光谱仪高，因此可以使用小功率的X射线发生装置来激发荧光X射线，因而器件体积也小。另外，能量色散型X射线荧光光谱仪没有波长色散型X射线荧光光谱仪那样复杂的机械结构，因而工作稳定。

现有的用于能量色散型X射线荧光光谱仪，包括光谱信号获取装置以及用于分析光谱信号的控制系统。其中，光谱信号获取装置包括载物台，用于承载样品；X射线发生装置，用于发射一次X射线；探测器，用于探测所述样品受X射线照射时产生的荧光光谱信号。用于分析光谱信号的控制系统，用于接收所述探测器探测到的所述样品产生的荧光光谱信号，分析所述样品中的元素及含量。现有的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置利用X射线发生装置产生的一次X射线直接去照射样品，但是X射线发生装置产生的一次X射线是一个连续激发源，用它直接去照射载物台上的样品时，样品在一次X射线的照射下产生荧光光谱信号存在背景峰，如果当某样品中所含元素非常低的时候，直接用X射线发生装置发射的一次X射线去激发载物台上的样品，控制系统接收探测器获取的荧光光谱信号并对该荧光光谱信号分析绘制谱图时，会让微量元素的谱淹没在荧光的背景峰中而无法测试出它的含量。

国内外有很多关于能量色散型X射线荧光光谱仪的专利，例如，专利号为ZL200620013698.1的中国实用新型专利，但是这些专利均没有解决现有技术的以上所述的问题。

发明内容

本发明解决的技术问题是现有技术的用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置获取的光谱信号具有背景峰，使控制系统无法检测出低含量元素及其含量的缺点。

为解决上述问题，本发明提供一种用于X射线荧光光谱仪的光谱信号获取装置，包括：

载物台，用于承载样品；

X射线发生装置，用于发射一次X射线；

探测器，用于探测所述样品受X射线照射时产生的线荧光，获取对应的光谱信号；

二次靶台，用于放置二次靶材；

联用控制装置，用于控制所述X射线发生装置使其发射的一次X射线照射所述样品或所述二次靶材，所述二次靶材受所述一次X射线照射时产生的二次X射线照射至所述样品。

可选的，所述联用控制装置包括电机以及与电机连接的转动机构，由所述电机驱动所述转动机构转动，所述X射线发生装置在转动机构的驱动下转动。

可选的，所述转动机构为蜗轮转动装置，该蜗轮转动装置包括蜗轮和蜗杆，由所述电机驱动蜗杆，所述蜗杆带动蜗轮转动；所述X射线发生装置设置于所述蜗轮上。

可选的，还包括步进电机和滑块，所述二次靶台滑动设于所述滑块上，所述步进电机用于驱动所述二次靶台在所述滑块上滑动。