[发明专利]发光元件的缺陷检测方法及系统无效
申请号: | 201010004590.7 | 申请日: | 2010-01-19 |
公开(公告)号: | CN102128816A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
发明(设计)人: | 欧震;徐宸科;陈俊昌;苏文正;郭端祥 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 史新宏 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 元件 缺陷 检测 方法 系统 | ||
1.一种发光元件的缺陷检测系统,应用于检测至少一待测发光元件,包括:
一承载体,用以承载该待测发光元件;
一光源发射单元,用以向该待测发光元件发射高于该待测发光元件的能阶的检测光源,以使该待测发光元件发出萤光;以及
一判断模块,用以判断该待测发光元件是否有缺陷,当该待测发光元件具有至少一缺陷时,该缺陷便会受萤光的照射而显示出来。
2.如权利要求1所述的发光元件的缺陷检测系统,其中当该待测发光元件为氮化物发光元件时,该检测光源发出不可见光,包括有氙灯(Xeonlamp)、紫外光发光二极管(UV LED)、或紫外光雷射(UV laser);当该待测发光元件为四元(AlGaInP)发光元件时,该检测光源是一不可见光,包括氙灯(Xeon lamp)、紫外光发光二极管(UV LED)、或紫外光雷射(UVlaser)、或为一可见光。
3.如权利要求1所述的发光元件的缺陷检测系统,还包括至少一图像撷取单元用以撷取该待测发光元件受激发而发出萤光时的图像,该图像撷取单元且与该判断模块耦接,以将所撷取的该图像传送至该判断模块作判断。
4.如权利要求1或3所述的发光元件的缺陷检测系统,其中该判断模块包括:一位置判断单元,用以确认出该待测发光元件的缺陷位置;和/或一特征辨识单元,用以辨别该待测发光元件的缺陷形成的区域的形状及大小。
5.如权利要求3所述的发光元件的缺陷检测系统,其中该图像撷取单元具有一镜头,且还包括一滤镜设于该镜头及该待测元件间。
6.如权利要求3所述的发光元件的缺陷检测系统,其供检测多个待测发光元件,其中该图像撷取单元并供定义出各该待测元件的坐标信息,且还包括一筛选单元其耦接于该判断模块以根据该坐标信息将具有缺陷的该发光元件筛选出。
7.一种发光元件的缺陷检测方法,其步骤包括:
提供多个待测发光元件;
利用一检测光源照射这些待测发光元件,该检测光源的能阶系大于这些待测发光元件的能阶,以令这些待测发光元件发出萤光;
撷取这些待测发光元件发出萤光的图像,并定义出各该待测发光元件的坐标信息;
确认在萤光照射下是否有至少一该待测发光元件显示出缺陷;以及
筛选出具有缺陷的至少一该待测发光元件。
8.如权利要求7所述的发光元件的缺陷检测方法,其中当该待测发光元件为氮化物发光元件时,该检测光源发出不可见光,包括氙灯(Xeonlamp)、紫外光发光二极管(UV LED)、或紫外光雷射(UV laser);当该待测发光元件为四元(AlGaInP)发光元件时,该检测光源是一不可见光,包括有氙灯(Xeon lamp)、紫外光发光二极管(UV LED)、或紫外光雷射(UVlaser)、或为一可见光。
9.如权利要求7所述的发光元件的缺陷检测方法,其中该检测光源由不可见光及可见光所合成。
10.如权利要求7所述的发光元件的缺陷检测方法,还包括于确认是否有至少一该待测发光元件具有缺陷同时,判断出各该待测发光元件所具缺陷的位置分布、和/或各该待测发光元件所具缺陷的形状及大小。
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