[发明专利]检测装置有效
申请号: | 201010022463.X | 申请日: | 2010-01-06 |
公开(公告)号: | CN102116602A | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 熊伟 | 申请(专利权)人: | 英华达(上海)科技有限公司 |
主分类号: | G01B5/28 | 分类号: | G01B5/28 |
代理公司: | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人: | 金利琴 |
地址: | 201114 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种检测装置,用以检测一物体的平整度,其特征在于,该检测装置包括:
一平台,该物体适于装设于该平台上;
一第一测量单元,立设于该平台上;
一连接件,设置于该第一测量单元上;以及
一第二测量单元,藕接于该连接件。
2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的第一测量单元包括一第一千分尺,该连接件装设于该第一千分尺上,且该连接件与该第一千分尺同步移动。
3.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的第二测量单元包括:
一滑动件,可拆卸地耦接于该连接件,且该滑动件藉由该连接件而随着该第一千分尺同步移动;以及
一第二千分尺,装设于该滑动件上。
4.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的滑动件具有一凹槽,该滑动件通过该凹槽与该连接件相嵌合,且该滑动件相对该连接件可移动,以调整该第二千分尺相对于该第一千分尺的距离。
5.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的滑动件还具有一基准面,面向该平台,该基准面用以归零该第一千分尺与该第二千分尺。
6.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的连接件与滑动件至少其中之一为一磁性元件。
7.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的平台包括:
一基座,该第一测量单元立设于该基座上;以及
一托盘,可移动地组装于该基座上,而该物体适于装设于该托盘上。
8.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述的平台更包括一调整器,组装于该基座上并连接该托盘,该调整器用以调整该托盘相对于该基座的距离。
9.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述的第一测量单元还包括一支撑臂,连接于该基座,该第一千分尺装设于该支撑臂上。
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