[发明专利]检测装置有效

专利信息
申请号: 201010022463.X 申请日: 2010-01-06
公开(公告)号: CN102116602A 公开(公告)日: 2011-07-06
发明(设计)人: 熊伟 申请(专利权)人: 英华达(上海)科技有限公司
主分类号: G01B5/28 分类号: G01B5/28
代理公司: 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 代理人: 金利琴
地址: 201114 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种检测装置,用以检测一物体的平整度,其特征在于,该检测装置包括:

一平台,该物体适于装设于该平台上;

一第一测量单元,立设于该平台上;

一连接件,设置于该第一测量单元上;以及

一第二测量单元,藕接于该连接件。

2.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的第一测量单元包括一第一千分尺,该连接件装设于该第一千分尺上,且该连接件与该第一千分尺同步移动。

3.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的第二测量单元包括:

一滑动件,可拆卸地耦接于该连接件,且该滑动件藉由该连接件而随着该第一千分尺同步移动;以及

一第二千分尺,装设于该滑动件上。

4.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的滑动件具有一凹槽,该滑动件通过该凹槽与该连接件相嵌合,且该滑动件相对该连接件可移动,以调整该第二千分尺相对于该第一千分尺的距离。

5.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的滑动件还具有一基准面,面向该平台,该基准面用以归零该第一千分尺与该第二千分尺。

6.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的连接件与滑动件至少其中之一为一磁性元件。

7.如权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述的平台包括:

一基座,该第一测量单元立设于该基座上;以及

一托盘,可移动地组装于该基座上,而该物体适于装设于该托盘上。

8.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述的平台更包括一调整器,组装于该基座上并连接该托盘,该调整器用以调整该托盘相对于该基座的距离。

9.如权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述的第一测量单元还包括一支撑臂,连接于该基座,该第一千分尺装设于该支撑臂上。

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