[发明专利]用于监测光刻胶保存时间的方法和系统无效

专利信息
申请号: 201010023133.2 申请日: 2010-01-20
公开(公告)号: CN102129182A 公开(公告)日: 2011-07-20
发明(设计)人: 武咏琴;张力群 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G03F7/26 分类号: G03F7/26
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 董巍;顾珊
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 监测 光刻 保存 时间 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种用于监测光刻胶的保存时间的方法,包括如下步骤:

识别光刻胶的类型;

确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限;

测量所述光刻胶的光刻胶瓶的温度;

当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时记录所述光刻胶瓶的使用时间;以及

当所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间达到或者超过所述理论保存期限时发出报警信号。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,

通过扫描方式自动地输入所述光刻胶瓶上的识别标签具有的所述光刻胶的识别信息来识别所述光刻胶的类型。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,

通过查找不同类型光刻胶和与之相对应的光刻胶的理论保存期限的查找表来确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,

通过与所述光刻胶瓶相连接的温度测量单元来测量光刻胶瓶的温度。

5.根据权利要求4所述的方法,其中,

当所述测量的光刻胶瓶的温度小于0℃时,所述温度测量单元始终保持温度测量状态。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,

当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时,记录下此时的时刻,并以所述时刻为起点开始记录所述光刻胶瓶的使用时间。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,该方法还包括显示步骤,以显示所述理论保存期限。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,该方法还包括显示步骤,以显示所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间。

9.根据权利要求1所述的方法,其中,该方法还包括复位步骤,以在每次使用前进行复位。

10.一种用于监测光刻胶的保存时间的系统,包括:

识别单元,其用于识别光刻胶的类型;

温度测量单元,其用于测量所述光刻胶的光刻胶瓶的温度;

控制单元,其用于确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限;用于当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时记录所述光刻胶瓶的使用时间;和用于将所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间与所述理论保存期限进行比较;

存储单元,其用于存储不同类型的光刻胶和与之相对应的光刻胶的理论保存期限的对应关系,和所述确定的理论保存期限;以及

报警单元,其用于发出报警信号。

11.根据权利要求10所述的系统,其中所述识别单元用于通过扫描方式自动地输入所述光刻胶瓶上的识别标签具有的所述光刻胶的识别信息来识别所述光刻胶的类型。

12.根据权利要求10所述的系统,其中所述控制单元用于通过查找不同类型光刻胶和与之相对应的光刻胶的理论保存期限的查找表来确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限。

13.根据权利要求10所述的系统,其中所述控制单元用于当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时,记录下此时的时刻,并以所述时刻为起点开始记录所述光刻胶瓶的所述使用时间。

14.根据权利要求10所述的系统,其中所述控制单元用于当所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间达到或者超过所述理论保存期限时使所述报警单元发出报警信号。

15.根据权利要求10所述的系统,其中所述系统还可以包括显示单元,其用于显示所述理论保存期限。

16.根据权利要求10所述的系统,其中所述系统还可以包括显示单元,其用于显示所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间。

17.根据权利要求10所述的系统,其中所述控制单元具有复位功能,用于在每次使用前进行复位。

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