[发明专利]用于监测光刻胶保存时间的方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及光刻胶的保存，特别涉及用于监测光刻胶保存时间的方法和系统。

背景技术

在印刷电路和集成电路的制造以及印刷制版等过程中，广泛地使用光刻胶。光刻胶又称光致抗蚀剂，是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性和亲和性等发生明显变化。光刻胶主要用于将光刻掩膜板上的图形转移到晶片(wafer)表面的氧化层中，并且在后续工序中保护下面的材料。由此可见，光刻胶在半导体的制造工艺中扮演了十分重要的角色。但是光刻胶的保存条件比较严格，在温度、湿度、光线以及保存时间上都有限制，特别是开瓶使用后的光刻胶，一旦吸潮，其物理化学性能均下降很快以至于发生变质，使用超过保存期限而发生变质的光刻胶会导致在显影时光刻胶脱落、金属沟槽浮渣以及通孔偏差(via missing)等严重问题，影响了产品的合格率。

通常，在0℃以下，许多光刻胶的保存期限在三到六个月或者更长时间。在室温(23℃)条件下，主要因为温度高于长时间保存光刻胶的温度，因此光刻胶的保存期限通常不超过一个月甚至更短的时间(例如在生产使用中，光刻胶的保存期限仅有7天)，否则会发生变质。在大批量生产和研发中，由于一瓶光刻胶仅使用几天或者一个星期，因此并不需要担心光刻胶的保存期限问题。但是在实验室研发使用而需要光刻胶在室温下保存较长时间，或者在批量生产而需要控制光刻胶的保存期限时，则很容易超出光刻胶的正常保存期限，从而导致光刻胶发生变质。

当前通常采取人工监测光刻胶的保存期限的方法，即光刻胶开瓶后，工程师或者科研人员通过测量温度和记录光刻胶的保存天数，来控制光刻胶的保存与使用。但是这种人工监测方法很容易产生错误和误差，并且也会浪费工程师或科研人员的时间与精力。

因此，如何找到一种简便的可以自动监测光刻胶保存时间的方法和系统，以避免人工监测时发生的错误和误差，同时节省人力资源，是当前面临的需要急待解决的一个问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于监测光刻胶保存时间的方法和系统，以便控制光刻胶的保存时间不超过光刻胶的理论保存期限(通常以天数为单位)，同时又减少人为的错误和误差，并且节省人力资源。这将在具体实施方式部分中进一步详细描述。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

为解决上述问题，本发明提供一种用于监测光刻胶的保存时间的方法，包括如下步骤：识别光刻胶的类型；确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限；测量所述光刻胶的光刻胶瓶的温度；当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时记录所述光刻胶瓶的使用时间；以及当所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间达到或者超过所述理论保存期限时发出报警信号。

进一步的，通过扫描方式自动地输入所述光刻胶瓶上的识别标签具有的所述光刻胶的识别信息来识别所述光刻胶的类型。

进一步的，通过查找不同类型光刻胶和与之相对应的光刻胶的理论保存期限的查找表来确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限。

进一步的，通过与所述光刻胶瓶相连接的温度测量单元来测量光刻胶瓶的温度。

进一步的，当所述测量的光刻胶瓶的温度小于0℃时，所述温度测量单元始终保持温度测量状态。

进一步的，当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时，记录下此时的时刻，并以所述时刻为起点开始记录所述光刻胶瓶的使用时间。

进一步的，该方法还包括显示步骤，以显示所述理论保存期限。

进一步的，该方法还包括显示步骤，以显示所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间。

进一步的，该方法还包括复位步骤，以在每次使用前进行复位。

本发明还提供一种用于监测光刻胶的保存时间的系统，包括：识别单元，其用于识别光刻胶的类型；温度测量单元，其用于测量所述光刻胶的光刻胶瓶的温度；控制单元，其用于确定与所述识别的光刻胶的类型相对应的理论保存期限；用于当所述测量的光刻胶瓶的温度大于0℃时记录所述光刻胶瓶的使用时间；和用于将所述记录的所述光刻胶瓶的使用时间与所述理论保存期限进行比较；存储单元，其用于存储不同类型的光刻胶和与之相对应的光刻胶的理论保存期限的对应关系，和所述确定的理论保存期限；以及报警单元，其用于发出报警信号。

进一步的，所述识别单元用于通过扫描方式自动地输入所述光刻胶瓶上的识别标签具有的所述光刻胶的识别信息来识别所述光刻胶的类型。