[发明专利]三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统及操作方法

权利要求书

1.三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统，包括一级塔、二级塔、三级塔；其特征是 三个塔按压力从低到高或者从高到低串连，并在一级塔二级塔之间和二级塔三级塔之 间各设置有冷凝再沸器；三个塔顺序做脱轻、脱重、再脱轻用途，或是脱重、脱轻、 再脱重用途；一级塔操作压力范围为0.05～0.4MPa，二级塔操作压力范围为0.3～0.8MPa， 三级塔操作压力范围为0.55～1.2MPa；或按三级塔、二级塔、一级塔压力依次降低，三 级塔和一级塔操作压力差值范围为0.4～1.0MPa；冷凝再沸器中加热介质的平均温度要 高于冷却介质的平均温度10～60℃。

2.采用权利要求1的三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统的操作方法，以脱轻、脱 重、再脱轻，三个塔塔压依次升高的组合，三个塔的回流进料比均在5～25之间，其特 征是三氯氢硅原料(12)经过一级塔(1)分离后，塔顶轻组分(13)经冷凝器(2) 后按照一定回流比分为回流物料(15)和采出物料(14)，塔底脱轻液(16)分为两部 分，一部分经第一冷凝再沸器(3)加热后形成再沸蒸汽(17)返回一级塔(1)，另一 部分由泵(10)打入二级塔(4)，在塔底形成高沸液(21)，经第二冷凝再沸器(6) 加热后形成再沸蒸汽(22)返回二级塔(4)，塔顶形成的三氯氢硅气相(18)进入第 一冷凝再沸器(3)的加热介质入口，为冷凝再沸器提供所需热量后形成料液(19)再 进入二级塔第一辅助冷凝器(5)成为冷凝料液(20)，冷凝料液(20)一部分返回二 级塔(4)顶部，另一部分冷凝料液(23)由泵(11)打入三级塔(7)，经过三级塔(7) 分离后，塔顶形成的三氯氢硅气相(24)进入第二冷凝再沸器(6)的加热介质入口， 为冷凝再沸器提供所需热量后形成料液(25)再进入第二辅助冷凝器(8)成为冷凝料 液(26)，冷凝料液(26)一部分返回三级塔(7)顶部，一部分采出，在塔底形成高 沸液(28)，一部分经再沸器(9)加热后返回三级塔(7)，一部分采出作为三氯氢硅 产品(29)采出。

3.如权利要求2所述的三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统的操作方法，其特征是 一级塔塔釜热负荷与二级塔塔顶热负荷相当情况下，第一辅助冷凝器(5)无需开启； 二级塔塔釜热负荷与三级塔塔顶热负荷相当情况下，第二辅助冷凝器(8)无需开启。

4.采用权利要求1的三氯氢硅三塔差压耦合节能精馏提纯系统的操作方法，对于脱轻、 脱重、再脱轻，三个塔塔压依次降低的组合，三个塔的回流进料比均在5～25之间，其 特征是三氯氢硅原料(12)经过三级塔(7)分离后，塔顶轻组分(30)进入第二冷凝 再沸器(6)的加热介质入口，为冷凝再沸器提供所需热量后成为冷凝料液(31)，再 经第二辅助冷凝器(8)后一部分(33)返回三级塔(7)顶部，一部分采出(32)，塔 釜脱轻液(34)一部分经过塔釜再沸器(9)加热后返回三级塔(7)，另一部分利用两 塔的压力差，作为进料直接进入二级塔(4)进行分离，二级塔(4)塔顶轻组分(35) 进入第一冷凝再沸器(3)的加热介质入口，为冷凝再沸器提供所需热量后成为冷凝料 液(36)，再经第一辅助冷凝器(5)后一部分(37)返回二级塔(4)顶部，一部分利 用两塔的压力差，作为进料直接进入一级塔(1)进行分离，一级塔(1)塔釜脱轻液 (44)一部分经过第一冷凝再沸器(3)加热后形成再沸蒸汽(45)返回一级塔(1)， 一部分采出(46)，一级塔顶的三氯氢硅气相(41)经过塔顶冷凝器(2)后形成冷凝 料液(42)，冷凝料液(42)一部分回流，另一部分作为三氯氢硅产品(43)采出。