[发明专利]透明材料的厚度检测方法和装置无效
申请号: | 201010104026.2 | 申请日: | 2010-01-25 |
公开(公告)号: | CN101762238A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 徐熙平;张宁;乔杨 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 材料 厚度 检测 方法 装置 | ||
1.一种透明材料的厚度检测装置,其特征在于,包括光学测量系统、光学分析系统和数据处理系统,其中
光学测量系统包括宽带光源、输入光纤、光纤耦合器、接收光纤以及包括至少一个透镜的光学发射系统,所述宽带光源发出的光经输入光纤、光纤耦合器传输到光学发射系统,被测透明材料反射的光经光纤耦合器、接收光纤传输到所述光学分析系统;
所述光学分析系统用于对接收到的被测透明材料的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值;
所述数据处理系统用于根据所述光学分析系统获取的反射峰对应的波长值获取被测透明材料的厚度。
2.根据权利要求1所述的透明材料的厚度检测装置,其特征在于,所述宽带光源为白光光源。
3.根据权利要求1所述的透明材料的厚度检测装置,其特征在于,所述数据处理系统具体用于根据建立的数学模型以及获取的所述反射峰对应的波长值进行计算以获取所述被测透明材料的厚度。
4.根据权利要求4所述的透明材料的厚度检测装置,其特征在于,所述数据处理系统还用于在根据预先建立的数学模型以及获取的所述反射峰对应的波长值进行计算时,对所述计算结果进行消误差处理。
5.一种透明材料的厚度检测方法,其特征在于,包括:
宽带光源发出的光经输入光纤、光纤耦合器传输到光学发射系统后,并由所述光学发射系统输出到被测量透明材料;
接收所述被测量透明材料的反射光,并由光纤耦合器、接收光纤传输到光学分析系统;
光学分析系统对接收到的被测透明材料的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值;
数据处理系统根据所述光学分析系统获取的反射峰对应的波长值获取被测透明材料的厚度。
6.根据权利要求5所述的透明材料的厚度检测方法,其特征在于,所述数据处理系统根据所述光学分析系统获取的反射峰对应的波长值获取被测透明材料的厚度包括:
所述数据处理系统根据预先建立的数学模型以及获取的所述反射峰对应的波长值进行计算以获取所述被测透明材料的厚度。
7.根据权利要求5所述的透明材料的厚度检测方法,所述数据处理系统根据预先建立的数学模型以及获取的所述反射峰对应的波长值进行计算时,还包括:
所述数据处理系统对所述计算结果进行消误差处理,以消除温度漂移和零点漂移引起的误差。
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