[发明专利]感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法

权利要求书

1.一种感射线性树脂组合物，其特征在于含有：

(A)碱可溶性树脂，该碱可溶性树脂是含有(a1)选自不饱和羧酸 和不饱和羧酸酐构成的群组中的至少一种和(a2)具有环氧基的聚合 性不饱和化合物的单体的共聚物；

(B)1,2-醌二叠氮化合物；以及

(C)含有(c1)下述式(1⁰)表示的化合物、

(c2)下述通式(2⁰)表示的化合物和

(c3)具有下述通式(3)表示的基团的聚合性不饱和化合 物、

(c4)具有碳原子数为1~8的烷基的聚合性不饱和化合 物、

(c5)一分子中具有2个以上不饱和键的聚合性不饱和 化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物，相对于100质量份碱可溶 性树脂(A)，共聚物(C)的使用比率为0.01~3质量份，

式(1⁰)中，R¹为氢原子或甲基，α为0~6的整数，β为1~20的整数，

式(2⁰)中，R²为氢原子或甲基，R³为碳原子数为1~12的烷基，γ 为2或3，a为重复单元数，其平均数值为1~30，

式(3)中，R⁴、R⁵、R⁶、R⁷和R⁸各自独立地为碳原子数为1~20的 烷基、苯基或下述通式(4)表示的基团，b为0~3的整数，

式(4)中，R⁹、R¹⁰和R¹¹各自独立地为碳原子数为1~20的烷基或苯 基，c为0~3的整数。

2.权利要求1所述的感射线性树脂组合物，其中上述化合物 (c1)为下述式(1)表示的化合物，上述化合物(c2)为下述通式(2)表示 的化合物，且(C)共聚物是由25~35质量%化合物(c1)、

20~30质量%化合物(c2)、15~20质量%化合物(c3)、25~35质 量%化合物(c4)和1~5质量%化合物(c5)组成的聚合性不饱和化合物 的共聚物，

CH₂=CR¹COO-CH₂CH₂C₈F₁₇   (1)

式(1)中，R¹与上述式(1⁰)中定义相同，

CH₂=CR²COO-(C₂H₄O)_aR³   (2)

式(2)中，R²和R³分别与上述式(2⁰)中的定义相同，重复单元数a 的平均数值为4~12。

3.一种层间绝缘膜，其特征在于由权利要求1或2所述的感 射线性树脂组合物形成。

4.一种层间绝缘膜的形成方法，其特征在于按照以下顺序包 括以下工序：

(1)将权利要求1或2所述的感射线性树脂组合物涂敷在基板上 形成涂膜的工序，

(2)对该涂膜的至少一部分照射射线的工序，

(3)显影工序，和

(4)加热工序。

5.一种层间绝缘膜，其特征在于由权利要求4所述的方法形 成。