[发明专利]感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜及其制造方 法。

背景技术

薄膜晶体管(以下称为“TFT”)型液晶显示元件及磁头元件、 集成电路元件、固态图像传感器元件等电子部件，通常为了在层 状布置的布线之间进行绝缘，设置层间绝缘膜。由于作为形成层 间绝缘膜的材料，优选为获得必要图案形状所需的工序少、且具 有高度平坦性的材料，因而感射线性树脂组合物被广泛地使用(参 见专利文献1和专利文献2)。

上述电子部件中，例如TFT型液晶显示元件，由于要经过在 上述层间绝缘膜上形成透明电极膜，再在其上形成液晶取向膜的 工序而制造，因而层间绝缘膜在透明电极膜形成工序中要经受高 温条件，并且要经受电极图案形成时所使用的抗蚀层剥离液，因 此，对其必须具有足够好的耐受性。

如此制得的层间绝缘膜，在其形成时的显影工序中，如果显 影时间哪怕是稍微超出最佳时间，在图案与基板之间也很容易发 生显影液渗透而导致脱落，因此，必须严格控制显影时间，并且 制品的成品率方面很成问题。

近年来，在TFT型液晶显示元件领域，正处于大屏幕化、高 亮度化、高精细化、快速响应化、薄型化等的趋势，作为其所用 的层间绝缘膜形成用组合物，要求具有高敏感度，并且所形成的 层间绝缘膜，要求具有比以往更优越的低介电常数、高透光率等 高性能。

这样，在由感射线性树脂组合物形成层间绝缘膜时，作为组 合物，要求具有高敏感度，并且，要求在形成工序中的显影工序 中，即使当显影时间超出所定时间时，也不会发生图案的脱落， 而显示良好的粘合性，且由其形成的层间绝缘膜具有高耐热性、 高耐溶剂性、低介电常数、高透光率等。但是，满足这种要求的 感射线性树脂组合物迄今还是未知的。

而且，随着近年来大屏幕电视的趋势和生产成本降低的要求， 带有滤色器的基板的制造中所用的基板玻璃尺寸正处于大型化的 势头。因此，在基板上形成层间绝缘膜时所进行的感射线性树脂 组合物的涂敷工序中，采用以前广泛使用的旋涂法已经很困难， 涂敷方法替换为由狭槽状喷嘴喷出组合物而进行涂敷的所谓的缝 模涂敷法。这种缝模涂敷法，与旋涂法相比，既具有能够减少涂 敷所需的组合物的量的优点，也有利于降低液晶显示元件的生产 成本。但是，在这种缝模涂敷法中，在真空吸附基板的吸附状态 下，以一定的方向扫掠涂敷嘴而进行涂敷，然后，保持在真空吸 附用的空穴中的支撑销升起而将基板顶起，将其从涂敷台移送到 下一工序。因此，在一连串的工序中，会出现涂膜上产生由真空 吸附用的空穴引起的斑痕、支撑销引起的斑痕、涂敷嘴扫掠方向 上呈现的条状斑痕等的情形，从而成为实现如上所述的高度平坦 性的障碍。

现有技术

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2001-354822号公报

【专利文献2】日本特开2001-343743号公报

发明内容

本发明是鉴于上述情况而作出的，其目的是提供一种感射线 性树脂组合物，即使采用缝模涂敷法作为涂敷方法，也能显示出 优良的膜厚均一性，并且具有高的射线敏感度，在显影工序中， 具有即使超出最佳显影时间仍能够形成良好的图案形状的显影裕 度，以及提供高耐热性、高耐溶剂性、高透光率、低介电常数等 各种性能优良的层间绝缘膜及其制造方法。

本发明的上述目的和优点，第一，由一种感射线性树脂组合 物达成，其含有：

(A)碱可溶性树脂；

(B)1，2-醌二叠氮化合物(以下称为“化合物(B)”)；以及

(C)含有(c1)下述式(1⁰)表示的化合物(以下称为“化合物 (c1)”)、(c2)下述通式(2⁰)表示的化合物(以下称为“化合物(c2)”) 和(c3)具有下述通式(3)表示的基团的聚合性不饱和化合物(以下称 为“化合物(c3)”)的聚合性不饱和化合物的共聚物(以下称为“共 聚物(C)”)。

CH₂＝CR¹COO-C_αH_2α-C_βF_2β+1          (1⁰)