[发明专利]防溅装置及使用其的液体脱泡设备

权利要求书

1.一种防溅装置，适于套接至盛有待脱泡的一液体的一容纳瓶，包括：

一套座，具有一第一端面、一第二端面及一第一内腔，其中该第一内腔 邻近该第一端面具有一套接口，适于套接至该容纳瓶的一瓶口；以及

一导流柱，位于该第一内腔内且自该第二端面往该第一端面延伸，并包 括一本体及一防溅锥体，其中该本体连接于该套座与该防溅锥体之间，且该 本体相对该防溅锥体而内缩，该本体并具有至少一流道、一第二内腔以及一 排气口，该第二内腔位于该本体中央，该排气口邻近该第二端面并暴露出该 第二内腔，该流道连通该第一内腔与该第二内腔，该防溅锥体具有一锥形顶 面与一锥面，该锥形顶面连接于该锥面与该本体之间，而该锥面是自该防溅 锥体两侧往该防溅锥体的中央朝该瓶口倾斜。

2.如权利要求1所述的防溅装置，其中该套座与该导流柱为一体成型。

3.如权利要求1所述的防溅装置，其中该导流柱可拆式地组装于该套座 的该第一内腔内。

4.如权利要求1所述的防溅装置，其中该第一内腔邻近该第二端面处具 有一开口，且该导流柱的该本体包括一承抵部，延伸至该开口外而承抵于该 第二端面。

5.如权利要求4所述的防溅装置，其中该承抵部呈环状，且该承抵部的 外径大于该开口的孔径。

6.如权利要求1所述的防溅装置，其中该本体还具有一回收流道，邻近 该防溅锥体的该锥形顶面并连通该第一内腔与该第二内腔，且该回收流道在 远离该第二内腔的方向上朝往套接口倾斜。

7.如权利要求1所述的防溅装置，其中该流道在朝向该第二内腔的方向 往该防溅锥体倾斜。

8.如权利要求1所述的防溅装置，还包括一上盖，装设于该套座上而与 该第二端面之间具有一排气通道。

9.如权利要求8所述的防溅装置，其中该上盖具有面向该第二端面的一 盖合面，且该盖合面上具有至少一沟槽，以作为该排气通道。

10.如权利要求8所述的防溅装置，其中该套座的该第二端面具有至少一 沟槽，以作为该排气通道。

11.如权利要求1所述的防溅装置，其中该防溅锥体的该锥形顶面在远离 该本体的方向上朝该套接口倾斜。

12.如权利要求1所述的防溅装置，其中该锥形顶面与该锥面的交接处与 该套座之间的间隙与该瓶口的口径的比值介于0.3％～2.3％。

13.一种液体脱泡设备，包括：

一真空腔室；

一容纳瓶，放置于该真空腔室内，并具有一瓶口，适于盛装待脱泡的一 液体；

一防溅装置，包括：

一套座，具有一第一端面、一第二端面及一第一内腔，其中该第一 内腔邻近该第一端面具有一套接口，适于套接至该容纳瓶的该瓶口；以及

一导流柱，位于该第一内腔内且自该第二端面往该第一端面延伸， 并包括一本体及一防溅锥体，其中该本体连接于该套座与该防溅锥体之间， 且该本体相对该防溅锥体而内缩，该本体并具有至少一流道、一第二内腔以 及一排气口，该第二内腔位于该本体中央，该排气口邻近该第二端面并暴露 出该第二内腔，该流道连通该第一内腔与该第二内腔，该防溅锥体具有一锥 形顶面与一锥面，该锥形顶面连接于该锥面与该本体之间，而该锥面是自该 防溅锥体两侧往该防溅锥体的中央朝该瓶口倾斜。

14.如权利要求13所述的液体脱泡设备，其中该套座与该导流柱为一体 成型。

15.如权利要求13所述的液体脱泡设备，其中该导流柱可拆式地组装于 该套座的该第一内腔内。

16.如权利要求13所述的液体脱泡设备，其中该第一内腔邻近该第二端 面处具有一开口，且该导流柱的该本体包括一承抵部，延伸至该开口外而承 抵于该第二端面。

17.如权利要求16所述的液体脱泡设备，其中该承抵部呈环状，且该承 抵部的外径大于该开口的孔径。