[发明专利]用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构

权利要求书

1.一种用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构，包括置于炉室内的坩埚， 坩埚的热场包括顶部加热器、侧部加热器和位于坩埚底部的热交换台，其中顶部加热器和 侧部加热器固定于电极上；其特征在于：所述炉室内设有侧面包围式的隔热笼体，所述坩 埚及热场均置于隔热笼体中，隔热笼体的上端与提升装置相连；隔热笼体上下分别设置顶 部保温板和下保温层，其中顶部保温板固定悬挂于电极上，下保温层及所述热交换台均固 定于支撑柱上，顶部保温板与隔热笼体上端活动相接、下保温层与隔热笼体下端活动相接； 一个环形的随动隔热环通过数个连接装置固定在隔热笼体的内部。

2.根据权利要求1所述的随动隔热环热场结构，其特征在于，所述隔热笼体的下缘 设有向内延伸的环形的下隔热条，所述随动隔热环通过连接装置固定在下隔热条上。

3.根据权利要求2所述的随动隔热环热场结构，其特征在于，所述随动隔热环与下 隔热条的宽度相同。

4.根据权利要求2所述的随动隔热环热场结构，其特征在于，所述下保温层与下隔 热条之间具有相互契合的接口形状。

5.根据权利要求2所述的随动隔热环热场结构，其特征在于，所述随动隔热环与连 接装置之间设有垫片。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的随动隔热环热场结构，其特征在于，所述连 接装置是螺栓螺母连接结构。

7.根据权利要求1至5任意一项所述的随动隔热环热场结构，其特征在于，氩气输 入管穿过顶部保温板并延伸至坩埚上方。