[发明专利]一种平板显示用玻璃基板蚀刻液有效

专利信息
申请号: 201010109119.4 申请日: 2010-02-08
公开(公告)号: CN101774767A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 冯卫文 申请(专利权)人: 绵阳艾萨斯电子材料有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅
地址: 621000四川省绵*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 平板 显示 玻璃 蚀刻
【权利要求书】:

1.一种平板玻璃蚀刻液,是由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成; 所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分别为: 10-20%、30-70%和0.5-5%,余量为水。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液,其特征在于:所述氟化氢吡啶盐的结构式为

3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液,其特征在于:所述蚀刻液为由10-20重量 份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的硫酸、0.5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59.5重量 份的水组成的蚀刻液1′。

4.根据权利要求1或2所述的蚀刻液,其特征在于:所述强酸选自硫酸和磷酸 中的至少一种;

所述强酸为硫酸和磷酸的混合物时,每100份所述蚀刻液中,硫酸和磷酸的混合 物由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸组成。

5.一种制备权利要求1或2所述平板玻璃蚀刻液的方法,是将氟化氢吡啶盐、 强酸、水和乙二胺四乙酸在20~30℃混匀,得到所述平板玻璃蚀刻液;

所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分 别为:10-20%、30-70%和0.5-5%,余量为水。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:所述氟化氢吡啶盐的结构式为

7.根据权利要求5或6所述的方法,其特征在于:所述蚀刻液为由10-20重量份 的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的硫酸、0.5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59.5重量份 的水组成的蚀刻液1′。

8.根据权利要求5或6所述的方法,其特征在于:所述强酸选自硫酸和磷酸中 的至少一种;

所述强酸为硫酸和磷酸的混合物时,每100份所述蚀刻液中,硫酸和磷酸的混合 物由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸组成。

9.权利要求1-4任一所述的平板玻璃蚀刻液在制备平板玻璃减薄用蚀刻液中的应 用。

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