[发明专利]一种平板显示用玻璃基板蚀刻液有效
| 申请号： | 201010109119.4 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101774767A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 冯卫文 | 申请（专利权）人： | 绵阳艾萨斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 621000四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平板 显示 玻璃 蚀刻 | ||
1.一种平板玻璃蚀刻液，是由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成； 所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分别为： 10-20％、30-70％和0.5-5％，余量为水。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述氟化氢吡啶盐的结构式为
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液为由10-20重量 份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的硫酸、0.5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59.5重量 份的水组成的蚀刻液1′。
4.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于：所述强酸选自硫酸和磷酸 中的至少一种；
所述强酸为硫酸和磷酸的混合物时，每100份所述蚀刻液中，硫酸和磷酸的混合 物由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸组成。
5.一种制备权利要求1或2所述平板玻璃蚀刻液的方法，是将氟化氢吡啶盐、 强酸、水和乙二胺四乙酸在20～30℃混匀，得到所述平板玻璃蚀刻液；
所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分 别为：10-20％、30-70％和0.5-5％，余量为水。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述氟化氢吡啶盐的结构式为
7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于：所述蚀刻液为由10-20重量份 的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的硫酸、0.5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59.5重量份 的水组成的蚀刻液1′。
8.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于：所述强酸选自硫酸和磷酸中 的至少一种；
所述强酸为硫酸和磷酸的混合物时，每100份所述蚀刻液中，硫酸和磷酸的混合 物由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸组成。
9.权利要求1-4任一所述的平板玻璃蚀刻液在制备平板玻璃减薄用蚀刻液中的应 用。
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