[发明专利]一种平板显示用玻璃基板蚀刻液

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板蚀刻液，特别是一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。

背景技术

在平板显示领域中，包括等离子体显示(PDP)、触摸屏(TP)、液晶显示(LCD) 及有机电致发光(OLED)等制备工艺过程中，为了进一步减轻显示器件的重量，生 产厂家越来越多的采用将玻璃基板进行减薄的方法。通常使用的减薄方法有两种，一 种是物理方法，用抛光粉进行抛光研磨，这种方法减薄时间长，且产品良率低；另一 种方法为化学蚀刻法，这种方法减薄时间短，所使用的设备投入小，产品良率高，且 减薄液的成分简单，都是一些工业上常用的酸性物质，成本低廉。

目前，用化学方法进行减薄的生产厂家所采用的减薄液，基本都采用氢氟酸为主 要成分，还有一些厂家再辅助加入其它强酸。当蚀刻液中含有氢氟酸时，会存在以下问 题：1)氢氟酸毒性大，容易挥发，尤其是在配置时需要采用较高温度和浓度，不仅生 产过程中危险性高，而且会对环境造成巨大污染；2)蚀刻产生的副产物容易吸附在玻 璃、设备和管道表面，造成产品表面处理效果差、管道阻塞等问题；3)生产过程中蚀 刻速率不稳定，蚀刻液的利用率相对较低，由此还会造成废液处理量大，处理成本也 随之增高。

发明内容

本发明的目的是提供一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。

本发明提供的平板玻璃蚀刻液，是由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组 成；所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分 别为：10-20％、30-70％和0.5-5％，余量为水。

上述蚀刻液中，所述氟化氢吡啶盐的结构式为

所述蚀刻液选自下述蚀刻液1′-26′中的任意一种：

由10-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0.5-5重量份的乙二胺四 乙酸和25-59.5重量份的水组成的蚀刻液1′；

由10-15重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0.5-5重量份的乙二胺四 乙酸和34.5-59.5重量份的水组成的蚀刻液2′；

由15-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0.5-5重量份的乙二胺四 乙酸和25-54.5重量份的水组成的蚀刻液3′；

由10-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-40重量份的强酸、0.5-5重量份的乙二胺四 乙酸和25-59.5重量份的水组成的蚀刻液4′；

由10-15重量份的氟化氢吡啶盐、30-40重量份的强酸、0.5-5重量份的乙二胺四 乙酸和34.5-59.5重量份的水组成的蚀刻液5′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 59.5重量份的水组成的蚀刻液6′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、40重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 49.5重量份的水组成的蚀刻液7′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、50重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 39.5重量份的水组成的蚀刻液8′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和58 重量份的水组成的蚀刻液9′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、50重量份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和38 重量份的水组成的蚀刻液10′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和55 重量份的水组成的蚀刻液11′；

由10重量份的氟化氢吡啶盐、50重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和35 重量份的水组成的蚀刻液12′；

由15重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 54.5重量份的水组成的蚀刻液13′；

由15重量份的氟化氢吡啶盐、50重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 34.5重量份的水组成的蚀刻液14′；

由15重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和50 重量份的水组成的蚀刻液15′；

由20重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 29.5重量份的水组成的蚀刻液16′；

由20重量份的氟化氢吡啶盐、50重量份的硫酸、0.5重量份的乙二胺四乙酸和 29.5重量份的水组成的蚀刻液17′；