[发明专利]基于EXCEL的半导体器件测试参数six sigma 管控方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基于EXCEL的半导体器件测试参数six sigma 管控方法。

背景技术

在现有技术中，要进行半导体器件测试参数six sigma 管控时，如对Delta-Vbe或Delta-Vds项规范上下限按six sigma 管控，需要运用minitab 软件做正态分布，得出均值与标准差；这就需要把测试后的excel 数据人为整理后复制到minitab软件中做分析计算。这种方法不仅费时，影响产线效率，而且人员整理数据容易出错；无法在产线上作业。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于EXCEL的半导体器件测试参数six sigma管控方法，该方法不仅提高了工作效率，而且数据处理准确、可靠。

为实现上述目的，本发明的技术方案是：

一种基于EXCEL的半导体器件测试参数six sigma 管控方法，其特征在于，按如下步骤进行：

（1）用EXCEL打开需要按six sigma 进行管控的测试数据文档；

（2）判断产生所述测试数据的测试机台类型，以选择相适应的数据格式处理方法，利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中对所述测试数据进行整理；

（3）利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中计算均值、标准差、CP和CPK；

（4）利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中计算管控的上下限UCL、LCL。

本发明的有益效果是实现了在EXCEL 文档中直接计算出测试数据的均值μ、标准差σ、Cp、Cpk 值、管控上限Ucl、管控下限Lcl，以对半导体器件测试参数进行six Sigma 管控，大大提高了工作效率，且易于在产线上直接操作，简化了操作流程。此外，由于排除了人为因素的影响，因此，数据处理更加准确、可靠。

下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步的详细说明。

附图说明

图1是本发明方法的工作流程图。

具体实施方式

本发明的基于EXCEL的半导体器件测试参数six sigma 管控方法，其特征在于，按如下步骤进行：

（1）用EXCEL打开需要按six sigma 进行管控的测试数据文档；。

（2）判断产生所述测试数据的测试机台类型，以选择相适应的数据格式处理方法，利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中对所述测试数据进行整理。在本实施例中，主要有JUNO及AMIDA两种不同类型的测试机台，而两种机台测试后的数据格式是不一样的，因此，需要判断所述测试数据是JUNO机台测试数据还是AMIDA机台测试数据，以选择对应的数据格式处理方法，从而利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中对所述测试数据中的良品数据进行整理。

（3）利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中按均值 计算JUNO或AMIDA规范的均值、标准差、CP和CPK。

（4）利用EXCEL VBA编程，直接在EXCEL文档中计算管控的上下限UCL、LCL。

下面对均值、标准差、CP、CPK、上下限UCL、LCL的计算公式加以说明：

均值：

标准差：

Cp=(Usl-Lsl)／(6*σ)

Cpk=Cp*(1-k)    k=abs(T-μ)/(0.5*( Usl-Lsl))

对于仅有上限的情况：Cp=Cpk=(Usl-μ)／(3*σ)

对于仅有下限的情况：Cp=Cpk=(μ-Lsl)／(3*σ)

Ucl=μ+3*σ Lcl=μ-3*σ

Usl—规格上限值， Lsl—规格下限值；

T 即为理想状态下的期望值，一般取规范的中心值T=0.5*(Usl+Lsl)。

以上是本发明的较佳实施例，凡依本发明技术方案所作的改变，所产生的功能作用未超出本发明技术方案的范围时，均属于本发明的保护范围。